PI普爱 D-510.051 PISeca电容传感器

PI普爱 D-510.051 PISeca电容传感器 具有优异的位置分辨率的单电极传感器 非接触式距离测量 绝对位置检测 振动测量 亚纳米级分辨率 灵活的量程 简易集成 产品描述 电容式位置传感器可实现最高精度和最长使用寿命 结合用于信号处理的电控,准静态应用可实现亚纳米级的分辨率。高动态应用的带宽可提高至高达10千赫兹,却仍然可实现1纳米级的分辨率。线性误差在0.1%以下。 定制版本/双电极传感器 除了此处列出的标准传感器外,PI还提供一系列针对特定应用的定制版本,其量程、几何形状或材料等经过了调整以满足客户需求。定制电控也可供货。 D-100系列中的双电极传感器可满足对线性和分辨率的最高要求。 易于操作和集成 所有PISeca传感器头均安装一个LEMO连接器,以便于安装和更换。均匀的轴厚度确保兼容性和灵活性。用于连接至评估电控的电缆提供多种型号,必须单独订购。 应用领域 工业和科研。半导体制造和检测。纳米测量。有源减振器。精密加工. 规格   D-510.021 D-510.051 D-510.101 传感器类型 单电极,电容式 单电极,电容式 单电极,电容...
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货号:
D-510.051

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PI普爱 D-510.051 PISeca电容传感器

具有优异的位置分辨率的单电极传感器

  • 非接触式距离测量
  • 绝对位置检测
  • 振动测量
  • 亚纳米级分辨率
  • 灵活的量程
  • 简易集成

产品描述

电容式位置传感器可实现最高精度和最长使用寿命

结合用于信号处理的电控,准静态应用可实现亚纳米级的分辨率。高动态应用的带宽可提高至高达10千赫兹,却仍然可实现1纳米级的分辨率。线性误差在0.1%以下。

定制版本/双电极传感器

除了此处列出的标准传感器外,PI还提供一系列针对特定应用的定制版本,其量程、几何形状或材料等经过了调整以满足客户需求。定制电控也可供货。

D-100系列中的双电极传感器可满足对线性和分辨率的最高要求。

易于操作和集成

所有PISeca传感器头均安装一个LEMO连接器,以便于安装和更换。均匀的轴厚度确保兼容性和灵活性。用于连接至评估电控的电缆提供多种型号,必须单独订购。

应用领域

工业和科研。半导体制造和检测。纳米测量。有源减振器。精密加工.

规格

 

D-510.021

D-510.051

D-510.101

传感器类型

单电极,电容式

单电极,电容式

单电极,电容式

测量精度

D-510.021

D-510.051

D-510.101

标称量程*

20微米

50微米

100微米

标称量程内具有最小测量间隙*

10微米

25微米

50微米

量程扩展5倍后具有最大测量间隙*

150微米

375微米

750微米

静态分辨率**

<量程的0.001%(均方根)

<量程的0.001%(均方根)

<量程的0.001%(均方根)

动态分辨率**

<量程的0.002%(均方根)

<量程的0.002%(均方根)

<量程的0.002%(均方根)

线性误差***

<0.2%

<0.1%

<0.1%

机械特性

D-510.021

D-510.051

D-510.101

传感器有效直径

3.8毫米

6毫米

8.4毫米

传感器有效面积

11.2平方毫米

27.9平方毫米

56.1平方毫米

传感器直径

8毫米

12毫米

20毫米

传感器面积

50.3平方毫米

113.1平方毫米

314.0平方毫米

安装轴直径

8毫米

8毫米

8毫米

其他

D-510.021

D-510.051

D-510.101

工作温度范围

-20至100摄氏度

-20至100摄氏度

-20至100摄氏度

材料

不锈钢

不锈钢

不锈钢

质量

8克 (±5%)

10克 (±5%)

16克 (±5%)

合适的连接电缆

D-891.01x、D-891.02x

D-891.01x、D-891.02x

D-891.01x、D-891.02x

推荐电控

E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3

E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3

E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3

*E-852.10提供扩展量程,两种量程分别经过校准。扩展因子:1、2、2.5、5。
**静态:带宽为10赫兹,动态:带宽为10千赫兹,带E-852评估电控
***标称量程内的线性误差

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