PI普爱 D-100 电容传感器

PI普爱 D-100 电容传感器 亚纳米分辨率位置传感器 用于要求最高精度的应用 量程达1000微米 分辨率达0.01纳米 带数字式控制器,线性误差达0.01% 带宽达10千赫兹 伺服控制器E-509.CxA,与E-500压电控制器系统兼容 定制设计 产品描述 分辨率 电容式传感器在较短距离内能够实现皮米级的分辨率。理论测量分辨率是没有限制的。在实际应用中散射辐射、几何效应以及测量电子学的噪声会影响可实现的精度。结合E-509.C1A电子设备,D-10.00传感器(100微米)的有效噪声因子为0.02纳米/√Hz。例如,在100赫兹带宽,分辨率可以达到0.2纳米。电子设备的跳接可调带宽高达3千赫兹。 除了这里列出的标准传感器外,PI还定制版本,例如在测量、几何、材料、电子等方面。 应用领域 高精度定位。 规格   D-015.00 D-050.00 D-100.00 单位 传感器         传感器类型 电容式 电容式 电容式   标称量程 15 50 100 微米 扩展量程 45 150 300 微米 分辨率* 0.0005 0.0005 0.0005 量程的 % 线性误差** 0.01 0.01 0.01 % 传感器有效面积...
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货号:
D-100

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PI普爱 D-100 电容传感器

亚纳米分辨率位置传感器

  • 用于要求最高精度的应用
  • 量程达1000微米
  • 分辨率达0.01纳米
  • 带数字式控制器,线性误差达0.01%
  • 带宽达10千赫兹
  • 伺服控制器E-509.CxA,与E-500压电控制器系统兼容
  • 定制设计

产品描述

分辨率

电容式传感器在较短距离内能够实现皮米级的分辨率。理论测量分辨率是没有限制的。在实际应用中散射辐射、几何效应以及测量电子学的噪声会影响可实现的精度。结合E-509.C1A电子设备,D-10.00传感器(100微米)的有效噪声因子为0.02纳米/√Hz。例如,在100赫兹带宽,分辨率可以达到0.2纳米。电子设备的跳接可调带宽高达3千赫兹。

除了这里列出的标准传感器外,PI还定制版本,例如在测量、几何、材料、电子等方面。

应用领域

高精度定位。

规格

 


D-015.00


D-050.00


D-100.00


单位


传感器

 

 

 

 

传感器类型

电容式

电容式

电容式

 

标称量程

15

50

100

微米

扩展量程

45

150

300

微米

分辨率*

0.0005

0.0005

0.0005

量程的 %

线性误差**

0.01

0.01

0.01

%

传感器有效面积

16.6

56.5

113.1

平方毫米

热漂移***

50

50

50

百万分之一/开氏度


其他

 

 

 

 

工作温度范围

-20 到 80

-20 到 80

-20 到 80

°C

材料

 

推荐传感器电控

E-509.CxA

E-509.CxA

E-509.CxA

 

*3千赫兹,采用E-509.C3A伺服控制器。

**带数字式控制器。采用E-509模拟控制器,高达0.05 %。

***有效表面尺寸的变化,单位为百万分之一,参见量程。

 

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