PI普爱 P-753.3CD LISA线性促动器和平台
PI普爱 P-753.3CD LISA线性促动器和平台
位置动态稳定
- 同时为平台和促动器提供导向
- 行程达38 微米
- 分辨率 0.1 nm
- 可提供非磁性版本
- 直接驱动可实现极其快速的响应行为
- 电容式传感器带来最高线性度
描述
应用领域
- 扫描显微镜
- 测量技术
- 测试程序和质量保证
- 光子
- 光纤定位
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
PICMA直接驱动可实现更高刚性和动态
带直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移，带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。因此可实现快速响应速度，并在压电陶瓷驱动范围内实现最高的刚性和动态。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
规格
|
|
P-753.1CD |
P-753.2CD |
P-753.3CD |
单位 |
公差 |
|---|---|---|---|---|---|
|
主动轴 |
X |
X |
X |
|
|
|
运动和定位 |
|
|
|
|
|
|
集成传感器 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
|
|
|
行程，闭环 |
15 |
30 |
38 |
微米 |
|
|
分辨率，闭环 |
0.1 |
0.2 |
0.25 |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差，闭环 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
% |
典型值 |
|
重复精度 |
±1 |
±2 |
±3 |
纳米 |
典型值 |
|
螺距/偏转角 |
±5 |
±7 |
±10 |
微弧度 |
典型值 |
|
机械特性 |
|
|
|
|
|
|
运动方向上的刚性 |
45 |
24 |
16 |
牛/微米 |
±20 % |
|
谐振频率，空载 |
5.6 |
3.7 |
2.9 |
千赫兹 |
±20 % |
|
带200 克负载时的谐振频率 |
2.5 |
1.7 |
1.4 |
千赫兹 |
±20 % |
|
运动方向上的推/拉力 |
100 / 20 |
100 / 20 |
100 / 20 |
牛 |
最大 |
|
负载能力（垂直/水平操作） |
10 / 2 |
10 / 2 |
10 / 2 |
千克 |
最大 |
|
驱动特性 |
|
|
|
|
|
|
陶瓷类型 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
|
|
|
电容 |
1.5 |
3.1 |
4.6 |
微法 |
±20 % |
|
其他 |
|
|
|
|
|
|
工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
|
|
材料 |
钢 |
钢 |
钢 |
|
|
|
尺寸 |
44 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米 |
62 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米 |
80 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米 |
|
|
|
质量 |
0.16 |
0.215 |
0.26 |
千克 |
±5 % |
|
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
|
传感器/电压连接 |
D-sub 7W2（公头） |
D-sub 7W2（公头） |
D-sub 7W2（公头） |
|
|
|
推荐电控 |
E-625，E-754 |
E-625，E-754 |
E-625，E-754 |
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