PI普爱 N-216.2A1 NEXLINE® 线性执行器
PI普爱 N-216.2A1 NEXLINE® 线性执行器 长行程距离上的纳米定位，高力，PiezoWalk® 原理 力产生达 600 N夹持力达 800 N行程范围 20 mm集成分辨率为 5 nm 的直接测量线性编码器 产品描述 应用领域工业级精密定位半导体技术半导体测试晶圆检测光刻纳米压印纳米计量学在强磁场和真空中运动 纳米级精度和高进给力，采用 PiezoWalk® 步进驱动器几个压电陶瓷促动器在 PiezoWalk® 步行驱动器中执行行走运动，导致转轮向前进给。对促动器的控制允许以远低于 1 纳米的分辨率进行最小的步进和前进进给运动。使用增量式线性编码器进行高精度位置测量非接触式光栅直接在平台上以最高精度测量位置。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。适用于复杂的真空应用PI 的压电电机可设计为在真空中使用，并适合在强磁场中运行。为此，可以使用特殊版本的驱动器。压电陶瓷步进驱动器也可用于洁净室或紫外线辐射较强的环境中。 Specifications Motion N-216.1A1 N-216.2A1 Tolerance Active axes X X Travel range in X 20 mm...
分类：
货号：
N-216.2A1 NEXLINE®
描述
PI普爱 N-216.2A1 NEXLINE® 线性执行器
长行程距离上的纳米定位，高力，PiezoWalk® 原理
力产生达 600 N
夹持力达 800 N
行程范围 20 mm
集成分辨率为 5 nm 的直接测量线性编码器
产品描述
应用领域
工业级精密定位
半导体技术
半导体测试
晶圆检测
光刻
纳米压印
纳米计量学
在强磁场和真空中运动
纳米级精度和高进给力，采用 PiezoWalk® 步进驱动器
几个压电陶瓷促动器在 PiezoWalk® 步行驱动器中执行行走运动，导致转轮向前进给。对促动器的控制允许以远低于 1 纳米的分辨率进行最小的步进和前进进给运动。
使用增量式线性编码器进行高精度位置测量
非接触式光栅直接在平台上以最高精度测量位置。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。
适用于复杂的真空应用
PI 的压电电机可设计为在真空中使用，并适合在强磁场中运行。为此，可以使用特殊版本的驱动器。压电陶瓷步进驱动器也可用于洁净室或紫外线辐射较强的环境中。
Specifications
| Motion | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Tolerance |
|---|---|---|---|
| Active axes | X | X | |
| Travel range in X | 20 mm | 20 mm | |
| Travel range in X (analog mode) | ± 3 µm | ± 3 µm | |
| Velocity (10% duty cycle, full-step mode) | 1 mm/s | 1 mm/s | max. |
| Velocity (100% duty cycle, full-step mode) | 0.6 mm/s | 0.6 mm/s | max. |
| Velocity (100% duty cycle, nanostepping mode) | 0.4 mm/s | 0.4 mm/s | max. |
| Positioning | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Tolerance |
| Reference switch | Optical, direction sensing (reference edge track), 5 V, TTL | Optical, direction sensing (reference edge track), 5 V, TTL | |
| Resolution in X, open loop | 0.03 nm | 0.03 nm | typ. |
| Integrated sensor | Incremental linear encoder | Incremental linear encoder | |
| System resolution in X | 5 nm | 5 nm | |
| Drive Properties | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Tolerance |
| Drive type | NEXLINE® piezo walking drive | NEXLINE® piezo walking drive | |
| Operating voltage | -250 to +250 V | -250 to +250 V | |
| Drive force in X | 300 N | 600 N | max. |
| Mechanical Properties | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Tolerance |
| Holding force in X, passive | 400 N | 800 N | min. |
| Overall mass | 1150 g | 1250 g | |
| Material |
Aluminum, stainless steel |
Aluminum, stainless steel |
|
| Miscellaneous | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Tolerance |
| Operating temperature range | 0 to 55 °C | 0 to 55 °C | |
| Connector | D-sub 25-pin (m) | D-sub 25-pin (m) | |
| Cable length | 2 m | 2 m | +50 / -0 mm |
| Recommended controllers / drivers |
E-712.1AM |
E-712.1AM |
全步模式下的速度：取决于驱动电子设备。
纳步模式下的速度：取决于驱动电子设备。纳步模式下的最大速度旨在实现最佳稳定性，因此在执行步骤时不会发生速度变化。
驱动力：数据是指全步模式作。
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