PI普爱 A-322 带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪
PI普爱 A-322 带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪
分辨率为1纳米的XY定位系统
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 行程达500毫米 × 1000毫米
- 负载容量达245牛
- 分辨率达1纳米
- 速度高达2毫米/秒
产品描述
PIglide参考级XY定位系统
PIglide HS平面扫描仪带多个磁性线性电机和一个绝对编码器，并采用真空预载：非接触式无摩擦运动可实现较高精度和可靠性。
该定位系统旨在较大程度地提高产出并确保较高精度。桥轴至龙门轴的挠性联轴器可实现侧向解耦，不会牺牲系统的刚性。
A-322与业界主导的ACS控制器和驱动模块相结合，可提供优异的伺服性能、先进控制算法，从而提高动态性能和误差补偿，并改善一整套软件开发工具。
A-322系列是实现进一步改型的出发点。我们已经开发并测试了关键的核心组件（例如线性电机、测量系统和空气轴承总成），同时验证了其功能。根据客户的应用和要求，A-322系列的变体为量身定制的超精密解决方案提供了理想的出发点。
绝对编码器
绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。
附件和可选配件
- PIglide过滤器和空气预处理器
- 额外的轴
- 机器底座
- 花岗岩底座板和隔振系统
- 适合其他定位器的底座，例如偏摆台或带有压电驱动器的6轴定位器。
- 选配可兼容的真空泵
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如计量、光子学和精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。
3种性能级别和价位
- 基础：XY龙门设计，带3台标准线性电机。
- 加强：XY龙门设计，带3台高性能液冷式线性电机。适用于高占空比和高加速度的应用。
- 超强：XY龙门设计，带4台高性能液冷式线性电机。X轴和Y轴均配有2台线性电机和2个线性编码器。这种设计提高了定位精度、重复精度和误差补偿，对于大尺寸的负载尤其如此。
PIMag磁力直接驱动
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。
使用寿命长，与无尘室兼容的牵引链
A-322采用耐用的高质量带状电缆和气动软管。经过大量的研究与开发，我们优化了可实现数百万次免维护周期的电缆管理系统。铁氟龙涂层确保了较低的颗粒形成率。
规格
|
型号 |
单位 |
A-322基础型 |
A-322加强型 |
A-322超强型 |
|---|---|---|---|---|
|
精度/动力学 |
|
标准/标准 |
标准/高 |
高/高 |
|
运动 |
|
|
|
|
|
行程，桥轴 |
毫米 |
350；500 |
350；500 |
350；500 |
|
行程，龙门轴 |
毫米 |
350；500 |
350；500；750 |
350；500；750；1000 |
|
运动平台的尺寸 |
|
250 × 268 |
250 × 268 |
250 × 318 |
|
导轨 |
|
真空预载空气轴承 |
真空预载空气轴承 |
真空预载空气轴承 |
|
集成传感器 |
|
绝对线性编码器，BiSS-C，钢量规 |
绝对线性编码器，BiSS-C，钢量规 |
绝对线性编码器，BiSS-C，钢量规 |
|
传感器分辨率 |
纳米 |
1 |
1 |
1 |
|
负载容量 |
千克 |
15 |
20 |
30 |
|
双向重复精度(2) |
微米 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.05 |
|
定位精度，已校准(2) |
微米 |
±0.35 |
±0.35 |
±0.2 |
|
直线度(2) |
微米 |
1 |
1 |
0.5 |
|
平面度 |
微米 |
2 |
2 |
2 |
|
俯仰角 |
微弧度 |
10 |
10 |
10 |
|
偏转角(2) |
微弧度 |
5 |
5 |
2 |
|
XY正交性 |
微弧度 |
5 |
5 |
2 |
|
最大速度，空载(3) |
米/秒 |
0.5 |
1 |
1 |
|
最大加速度，空载(3) |
米/平方秒 |
10 |
20 |
20/15（桥轴/龙门轴） |
|
位置稳定性 |
纳米 |
±30 |
±30 |
±30 |
|
运动质量，桥轴 |
千克 |
14 |
14 |
20 |
|
运动质量，龙门轴 |
千克 |
取决于桥轴行程： 350毫米：40千克 500毫米：44千克 |
取决于桥轴行程： 350毫米：53千克 500毫米：56千克 |
取决于桥轴行程： 350毫米：70千克 500毫米：75千克 |
|
驱动器特性 （视电机而定） |
单位 |
A-322基础型 桥轴/龙门轴 |
A-322加强型 桥轴/龙门轴 |
A-322超强型 桥轴/龙门轴 |
|---|---|---|---|---|
|
电机数量 |
|
1根桥轴，2根龙门轴 |
1根桥轴，2根龙门轴 |
2根桥轴，2根龙门轴 |
|
标称电压，直流 |
伏 |
70/70 |
70/70 |
70/70 |
|
峰值电压，直流 |
伏 |
300/300 |
300/300 |
300/300 |
|
标称力 |
牛 |
87/87 |
140/140 |
87/140 |
|
峰值力 |
牛 |
300/300 |
480/480 |
300/480 |
|
力常数，均方根 |
牛/安 |
19.9/19.9 |
27.5/27.5 |
19.9/27.5 |
|
标称电流，均方根 |
安 |
4.4/4.4 |
5.1/5.1 |
4.4/5.1 |
|
峰值电流，均方根 |
安 |
15/15 |
17.5/17.5 |
15/17.5 |
|
相间反电动势 |
伏秒/米 |
16/16 |
22.5/22.5 |
16/22.5 |
|
相间电阻 |
欧姆 |
3.6/3.6 |
2.6/2.6 |
3.6/2.6 |
|
相间电感 |
毫亨 |
1.2/1.2 |
2.0/2.0 |
1.2/2.0 |
|
冷却系统 |
|
– |
水，20摄氏度，2至3升/分钟 |
水，20摄氏度，2至3升/分钟 |
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