PI普爱 A-68x PIglide 带空气轴承大光圈RLA旋转平台

PI普爱 A-68x PIglide 带空气轴承大光圈RLA旋转平台 无摩擦,电动 运动平台直径为365毫米,开孔直径为260毫米 低外形 偏心度和平面度< 300纳米 产品描述 产品概述 PIglide RLA系列直接驱动式平面转台旨在实现较高的精度。这些转台低外形、大孔径。RLA平台提供优异的运动精度、平面度和摆动性能。 绝对编码器(可选配) 绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安全性。 应用领域 断层扫描、束线系统、晶圆计量、晶圆检验、测量技术、检验系统、校准、扫描。 由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使PIglide平台成为无尘室应用的首选。 三相力矩电机 无刷 低齿槽转矩 附件和可选配件 增量或绝对编码器 PIglide过滤器和空气预处理器 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器 多轴/定制化搭建 花岗岩底座板和隔振系统 规格 运动 A-688 单位 公差 行程 无限,> 360度     运动平台直径 365 毫米   偏心度(1) 300 纳米 最大 平面度(1) 175 纳米 最大 摆动(1) 1 微弧度...
分类:
货号:
A-68x

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PI普爱 A-68x PIglide 带空气轴承大光圈RLA旋转平台

无摩擦,电动

  • 运动平台直径为365毫米,开孔直径为260毫米
  • 低外形
  • 偏心度和平面度< 300纳米

产品描述

产品概述

PIglide RLA系列直接驱动式平面转台旨在实现较高的精度。这些转台低外形、大孔径。RLA平台提供优异的运动精度、平面度和摆动性能。

绝对编码器(可选配)

绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安全性。

应用领域

断层扫描、束线系统、晶圆计量、晶圆检验、测量技术、检验系统、校准、扫描。

由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使PIglide平台成为无尘室应用的首选。

三相力矩电机

  • 无刷
  • 低齿槽转矩

附件和可选配件

  • 增量或绝对编码器
  • PIglide过滤器和空气预处理器
  • 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器
  • 多轴/定制化搭建
  • 花岗岩底座板和隔振系统

规格

运动

A-688

单位

公差

行程

无限,> 360度

 

 

运动平台直径

365

毫米

 

偏心度(1)

300

纳米

最大

平面度(1)

175

纳米

最大

摆动(1)

1

微弧度

最大

机械特性

A-688

单位

公差

负载能力,轴向(2)

770

最大

负载能力,径向(2)

190

最大

负载力矩,MX、Y(2)

36

牛米

最大

惯性力矩

284710

千克平方毫米

典型值

运动质量

12

千克

典型值

总质量

24

千克

典型值

导轨类型

空气轴承

 

 

驱动器特性

A-688

单位

公差

驱动器类型

三相无刷力矩电机

 

 

中间电路电压

48,标称值

80,最大值

伏直流

 

峰值电流

6.9

最大

标称电流

3.2

最大

峰值力矩

85

牛米

最大

标称力矩

39

牛米

最大

力矩常数

12.3

牛米/安

典型值

相间电阻

3.6

欧姆

典型值

相间电感

1.24

毫亨

典型值

相间反电动势

10.1

伏/千转每分钟

典型值

定位

A-688.A100

A-688.B100

集成传感器

增量角度测量系统

绝对角度测量系统

传感器信号

正弦/余弦,1伏峰峰值

BiSS-C

线/转

55040

速度(3)

最大值为500转/分钟

最大值为500转/分钟

传感器分辨率

0.03微弧度(4)

0.0015微弧度

双向重复精度

±4微弧度

±4微弧度

精度,带误差补偿(5)

±8微弧度

±8微弧度

参考点开关

1 / 转,一个传感器信号周期内差示脉冲,1伏峰峰值

其他

A-688

工作压力(6)

75至85磅 /平方英寸(515至585千帕)

耗气量

< 2 SCFM (56 SLPM)

空气质量

清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573‑1 级别1

无油 - ISO 8573‑1 级别1

干燥(-15°C露点) - ISO 8573‑1 级别3

材料

硬膜铝,不锈钢固定硬件

(1)取决于底面质量、有效载荷、方向和从外部作用于平台的力。请联系PI获取针对特定应用的参数。规定的数值为静态(测量时无旋转运动)、不带负载的值。
(2)所列负载为假定供气压力为550千帕(80磅/平方英寸)。若需其他压力,请联系PI。
(3)可能受有效载荷、有效载荷的不平衡性、控制器或驱动器的限制。
(4)假定4096x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。
(5)规定的数值基于控制器控制的误差补偿。为实现这些数值,平台须与PI A-8xx系列控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。
(6)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。

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