PI普爱 N-216.2A1 NEXLINE® 直线驱动器
PI普爱 N-216.2A1 NEXLINE® 直线驱动器 在长行程中进行高力纳米定位，PiezoWalk® 原理 力生成至600 N 保持力至800 N 行程范围20 mm 集成直接测量线性编码器，分辨率纳米 产品描述 应用领域 工业精密定位 半导体技术 半导体测试 晶圆检测 光刻 纳米印刷 纳米测量强磁场和真空中的运动 PiezoWalk® 步进驱动器实现纳米级精度和高进给力 几个压电驱动在PiezoWalk® 步进驱动器中执行行走运动，从而导致滑块的前进进给。驱动器的控制允许最小的步长前进进给运动，分辨率远低于纳米。 高精度的位置测量采用增量式线性编码器 非接触式光学编码器直接在以最高精度测量位置。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 适用于复杂的真空应用 PI的压电电机可以用于真空使用，并且适用于在强磁场中操作。为此，驱动器有特殊版本。Piezo步进驱动器也可以在洁净室或强紫外线环境中使用。 规格 Motion N-216.1A1 N-216.2A1 Tolerance Active axes X X Travel range in X 20 mm 20 mm Travel range in X (analog m...
分类：
货号：
N-216.2A1
描述
PI普爱 N-216.2A1 NEXLINE® 直线驱动器
在长行程中进行高力纳米定位，PiezoWalk® 原理
力生成至600 N
保持力至800 N
行程范围20 mm
集成直接测量线性编码器，分辨率纳米
规格
| Motion | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Tolerance |
|---|---|---|---|
| Active axes | X | X | |
| Travel range in X | 20 mm | 20 mm | |
| Travel range in X (analog mode) | ± 3 µm | ± 3 µm | |
| Velocity (10% duty cycle, full-step mode) | 1 mm/s | 1 mm/s | max. |
| Velocity (100% duty cycle, full-step mode) | 0.6 mm/s | 0.6 mm/s | max. |
| Velocity (100% duty cycle, nanostepping mode) | 0.4 mm/s | 0.4 mm/s | max. |
| Positioning | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Tolerance |
| Reference switch | Optical, direction sensing (reference edge track), 5 V, TTL | Optical, direction sensing (reference edge track), 5 V, TTL | |
| Resolution in X, open loop | 0.03 nm | 0.03 nm | typ. |
| Integrated sensor | Incremental linear encoder | Incremental linear encoder | |
| System resolution in X | 5 nm | 5 nm | |
| Drive Properties | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Tolerance |
| Drive type | NEXLINE® piezo walking drive | NEXLINE® piezo walking drive | |
| Operating voltage | -250 to +250 V | -250 to +250 V | |
| Drive force in X | 300 N | 600 N | max. |
| Mechanical Properties | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Tolerance |
| Holding force in X, passive | 400 N | 800 N | min. |
| Overall mass | 1150 g | 1250 g | |
| Material |
Aluminum, stainless steel |
Aluminum, stainless steel |
|
| Miscellaneous | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Tolerance |
| Operating temperature range | 0 to 55 °C | 0 to 55 °C | |
| Connector | D-sub 25-pin (m) | D-sub 25-pin (m) | |
| Cable length | 2 m | 2 m | +50 / -0 mm |
| Recommended controllers / drivers |
E-712.1AM |
E-712.1AM |
全步进模式下的速度：取决于驱动电子。
纳米步进模式下的速度：取决于驱动电子。纳米步进模式下的速度旨在尽可能保持恒定，以便在执行步进时不会出现速度变化。
驱动力：数据参考全步进模式操作
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