PI普爱 N-310.11 NEXACT® OEM微型直线电机/驱动器 紧凑，快速，行程范围长，PiezoWalk® 原理 行程范围20毫米 体积小巧，设计经济 分辨率高达0.03纳米 驱动力高达10牛 产品描述 纳米级精度和高进给力与PiezoWalk®行走驱动 在PiezoWalk®行走驱动，多个压电执行器进行行走运动，从而带动一个滑块向前移动。通过控制执行器，可以在分辨率低于一纳米的情况下实现最小的步进前向进给运动。 高精度位置测量与增量式线性编码器 非接触式光学线性编码器直接在平台上以最高精度位置。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 应用领域 工业精密定位 半导体技术 半导体测试 晶圆 光刻 纳米压印 纳米测量学 规格 Select a travel range: 20 mm Motion N-310.11 Tolerance Active axes X   Travel range in X 20 mm   Travel range in X (analog mode) 10 µm max. Maximum velocity in X, unloaded 10 mm/s   Positioning N-310.11 Tolerance Step size in full step mode 10 µm   Resolut...