PI普爱 M-501.1PD 精密Z向位移台 紧凑型、XYZ向，与M-511平移台系列组合 行程为12.5毫米（1/2”） 超高分辨率编码器 ActiveDrive电机 零空回滚珠丝杠 非接触式限位和参考点开关 应力消除铝基座可实现高稳定性 MTBF>20,000小时 自锁达10公斤 to content 规格   M-501.1PD M-501.1DG 单位 公差 主动轴 Z Z     运动和定位         行程 12.5 12.5 毫米   集成传感器 旋转编码器 旋转编码器     传感器分辨率 40,960 2048 步/圈   设计分辨率 0.024 0.005 微米   增量运动 <0.1 <0.1 微米 最小 单向重复精度 0.1 0.1 微米   螺距 ±15 ±15 微弧度   偏转角 ±15 ±15 微弧度   速度 3 1 毫米/秒 最大 参考点开关重复性 1 1 微米   机械特性         螺距 1 1 毫米   齿轮速比 80/26（皮带驱动） 80/26（皮带驱动）；（28/12）4:1 ~ 29.6:1 减速齿轮     负载容量 50 100 牛 最大 保...