PI普爱 A-523 PIglide高精度Z轴倾转台带空气轴承
PI普爱 A-523 PIglide高精度Z轴倾转台带空气轴承 高性能 • 洁净室兼容 • 低轮廓 在Z方向上的行程范围为±2.5毫米 在θX、θY方向上的旋转范围为±1° 载重为8千克 平台直径为250毫米 总高度为60毫米 产品描述 产品概述 A-523是一款带有直接驱动的空气轴承Z轴/倾角平台。该平台设计并联运动多轴系统，可用于Z轴和倾角运动。该平台以微型格式提供超精密定位。非接触式组件的组合带来了无的运动平台，提供了顶级性能、质量和使用寿命。 当A-523与A-81x或A-82x系列的控制器一起购时，PI将进行Z轴的配置和布线，并应用伺服调优优化和负载应用。您将收到一个完整、可立即定位系统。 附件和选项 空气过滤器套件 应用领域 Z轴/倾角平台非常适用于高精度应用，如圆检测、光纤定位、光学定位、平板检测、无掩模光刻和超LED制造。非接触式设计非常适用于洁净室应用 规格 Motion A-523.25005B3 Tolerance Active axes Z ǀ θX ǀ θY Travel range in Z 5 mm Rotation range in &th...
分类：
货号：
A-523
描述
PI普爱 A-523 PIglide高精度Z轴倾转台带空气轴承
高性能 • 洁净室兼容 • 低轮廓
在Z方向上的行程范围为±2.5毫米
在θX、θY方向上的旋转范围为±1°
载重为8千克 平台直径为250毫米
总高度为60毫米
产品描述
产品概述
A-523是一款带有直接驱动的空气轴承Z轴/倾角平台。该平台设计并联运动多轴系统，可用于Z轴和倾角运动。该平台以微型格式提供超精密定位。非接触式组件的组合带来了无的运动平台，提供了顶级性能、质量和使用寿命。
当A-523与A-81x或A-82x系列的控制器一起购时，PI将进行Z轴的配置和布线，并应用伺服调优优化和负载应用。您将收到一个完整、可立即定位系统。
附件和选项
空气过滤器套件
应用领域
Z轴/倾角平台非常适用于高精度应用，如圆检测、光纤定位、光学定位、平板检测、无掩模光刻和超LED制造。非接触式设计非常适用于洁净室应用
规格
| Motion | A-523.25005B3 | Tolerance |
|---|---|---|
| Active axes | Z ǀ θX ǀ θY | |
| Travel range in Z | 5 mm | |
| Rotation range in θX | 2 ° | |
| Rotation range in θY | 1.6 ° | |
| Acceleration in Z, unloaded | 10 m/s² | max. |
| Maximum velocity in Z, unloaded | 200 mm/s | |
| Yaw (Rotational crosstalk in θX with motion in Z) | ± 25 µrad | typ. |
| Pitch (Rotational crosstalk in θY with motion in Z) | ± 25 µrad | typ. |
| Positioning | A-523.25005B3 | Tolerance |
| Minimum incremental motion in Z | 0.01 µm | typ. |
| Minimum incremental motion in θX | 0.06 µrad | typ. |
| Minimum incremental motion in θY | 0.06 µrad | typ. |
| Positioning accuracy in Z, calibrated | ± 0.5 µm | typ. |
| Positioning accuracy in θX, uncalibrated | ± 15 µrad | typ. |
| Positioning accuracy in θY, uncalibrated | ± 15 µrad | typ. |
| Bidirectional repeatability in Z | 0.25 µm | typ. |
| Bidirectional repeatability in θX | 8 µrad | typ. |
| Bidirectional repeatability in θY | 8 µrad | typ. |
| Integrated sensor | Absolute linear encoder | |
| Sensor signal | BiSS-C | |
| Sensor resolution | 1 nm | |
| Drive Properties | A-523.25005B3 | Tolerance |
| Drive type | Ironless 3-phase linear motor | |
| Nominal voltage | 24 V | |
| Peak voltage | 60 V | |
| Nominal current, RMS | 1.4 A | typ. |
| Peak current, RMS | 2.8 A | typ. |
| Force constant | 5.9 N/A | |
| Resistance phase-phase | 5.2 Ω | typ. |
| Inductance phase-phase | 1 mH | |
| Back EMF phase-phase | 4.2 V·s/m | max. |
| Pole pitch N-N | 19.66 mm | |
| Mechanical Properties | A-523.25005B3 | Tolerance |
| Permissible push force in Z | 80 N | max. |
| Guide | Air bearing with air preload | |
| Overall mass | 8200 g | |
| Material |
Hardcoat aluminum, stainless steel mounting hardware |
|
| Miscellaneous | A-523.25005B3 | Tolerance |
| Operating temperature range | +15 to +25 °C | |
| Connector | HD D-sub 26 (m) | |
| Air connector | One-touch fitting for tubing with 6 mm outer diameter | |
| Operating pressure | 515 to 585 (75 to 85 psi) kPa | |
| Air consumption | 84 L/min | max. |
| Air quality | Clean (filtered up to 1.0 µm or better) - ISO 8573–1 class 1 ǀ Oil free - ISO 8573–1 class 1 ǀ Dry (-15 °C dew point) - ISO 8573–1 class 3 | |
| Recommended controllers / drivers |
A-814 (four axes), A-82x (4 / 6 / 8 axes) |
关于行程和旋转范围：Z轴的行程范围和θX、θY的旋转范围相互依赖。中的值显示了每个轴的最大行程范围，当所有其他轴都在参考位置时。如果一个轴达到了最大位置，其他轴的运动是不可能的。 关于加速度和速度：给定的值在无负载状态下是有效的。
关于定位精度：校准精度只能通过控制器驱动的误差补偿来实现要达到这些值，必须使用PI控制器订购舞台。精度值假设为短时间，不考虑热漂移对舞台的长期影响。
最小增量运动：直接关系到系统稳定性（伺服抖动）；这取决于使用的伺服驱动器。通过在ACS SPiiPlus控制器上使用ServoostTM PLUS，可以提高位置稳定性。
关于额定电压和峰值电压以及额定电流和峰值电流：给定的值适用于每台。舞台上包含三台电机。
关于允许的推力：假设空气轴承的操作压力为480kPa。该舞台仅设计用于水平。
关于操作压力：为了保护舞台免受损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器的E-Stop输入。
在PI，技术在22 ±3°C时指定。除非另有说明，否则这些值适用于无负载条件。一些属性是相互依赖的。标识“typ.表示某个属性的统计平均值；它并不代表每个供应的产品都保证的值。在产品的最终检查中，只有选定的属性被分析，而不是全部请注意，一些产品特性可能会随着操作时间的增加而恶化。
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