PI普爱 A-121.xxxB 带空气轴承的PIglideAT1线性平台
PI普爱 A-121.xxxB 带空气轴承的PIglideAT1线性平台
高性能小落地面积纳米级定位平台
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 运动平台的尺寸115 毫米×115 毫米
- 行程达350毫米
- 低外形最小为60 毫米
- 分辨率达1纳米
产品概述
PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供最高的性能、质量和使用寿命。
高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度。带预载的空气轴承构造支持任意方向上的安装。
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。
附件和可选配件
- 编码器
- PIglide过滤器和空气预处理器
- 多轴运动控制器和直接驱动器
- XY装置和个性化配置
- 电缆轨道变型
- 用于垂直组装的平衡配件
- 花岗岩底座板和隔振系统
规格
|
运动 |
A-121.050 |
A-121.100 |
A-121.150 |
A-121.200 |
A-121.250 |
A-121.350 |
单位 |
公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
主动轴 |
X |
X |
X |
X |
X |
X |
|
|
|
行程 |
50 |
100 |
150 |
200 |
250 |
350 |
毫米 |
|
|
俯仰角/偏转角(1) |
20 |
20 |
20 |
20 |
25 |
35 |
微弧度 |
最大 |
|
直线度/平面度(1) |
0.5 |
0.5 |
1 |
1.5 |
2 |
2.5 |
微米 |
最大 |
|
每25毫米行程的直线度/平面度(1) |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
微米 |
最大 |
|
速度，空载(2) |
0.5 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
米/秒 |
最大 |
|
加速度，空载(2) |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
米/平方秒 |
最大 |
|
机械特性 |
A-121.050 |
A-121.100 |
A-121.150 |
A-121.200 |
A-121.250 |
A-121.350 |
单位 |
公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Z向负载能力(6) |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
牛 |
最大 |
|
Y向负载能力(6) |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
牛 |
最大 |
|
θx向上的允许力矩(6) |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
牛米 |
最大 |
|
θy向上的允许力矩(6) |
8.3 |
8.3 |
8.3 |
8.3 |
8.3 |
8.3 |
牛米 |
最大 |
|
移动质量 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
千克 |
典型值 |
|
总质量 |
3.5 |
4.2 |
4.5 |
5.2 |
5.7 |
6.8 |
千克 |
典型值 |
|
导向类型 |
空气轴承 |
空气轴承 |
空气轴承 |
空气轴承 |
空气轴承 |
空气轴承 |
|
|
|
定位 |
A-121.xxxA |
A-121.xxxB |
|---|---|---|
|
集成传感器 |
增量线性编码器 |
绝对线性编码器 |
|
传感器信号 |
正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期 |
BiSS-C |
|
传感器分辨率 |
4.88纳米(3) |
1纳米 |
|
双向重复性 |
±0.25微米 |
±0.25微米 |
|
定位精度，未校准(4) |
A-121.050：± 1.5微米 A-121.100：± 1.5微米 A-121.150：± 1.5微米 A-121.200：± 2.0微米 A-121.250：± 2.0微米 A-121.350：± 3.0微米 |
A-121.050：± 1.5微米 A-121.100：± 1.5微米 A-121.150：± 1.5微米 A-121.200：± 1.5微米 A-121.250：± 1.5微米 A-121.350：± 1.5微米 |
|
定位精度，已校准(4) |
A-121.050：± 0.5微米 A-121.100：± 0.5微米 A-121.150：± 0.5微米 A-121.200：± 0.5微米 A-121.250：± 0.5微米 A-121.350：± 0.5微米 |
A-121.050：± 0.5微米 A-121.100：± 0.5微米 A-121.150：± 0.5微米 A-121.200：± 0.5微米 A-121.250：± 0.5微米 A-121.350：± 0.5微米 |
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