PI普爱 A-110.200xx 带空气轴承的PIglideLC线性平台

PI普爱 A-110.200xx 带空气轴承的PIglideLC线性平台

PI普爱 A-110.200xx 带空气轴承的PIglideLC线性平台价格便宜的高性能纳米级定位平台扫描应用的完美选择或精密定位无尘室兼容运动平台的尺寸160毫米×200 毫米行程达400 毫米负载容量达100 牛产品描述产品概述 PIglide定位系统具有一个磁性线性电机、磁性预载空气轴承和一个光学线性编码器：非接触式无摩擦运动实现最佳精度和可靠性附件和可选配件编码器 PIglide Filter und Druckregler 单轴和多轴运动控制器 XY装置和个性化配置花岗岩底座板和隔振系统应用领域 PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。由于无摩擦运动，因此不会形成颗粒，从而使平台成为无尘室应用的优先选择。规格 Select a travel range: 50 mm100 mm200 mm300 mm400 mm 运动 A-110.050xx A-110.100xx A-110.200xx A-110.300xx A-110.400xx 单位公差主动轴 X X X X X 行程 50 100 200 300 400 毫米螺距/偏转角(1) 15 15 20 30 40 微弧度最大直线度...

分类：

德国PI普爱

货号：

A-110.200xx

PI普爱 A-110.200xx 带空气轴承的PIglideLC线性平台

价格便宜的高性能纳米级定位平台

扫描应用的完美选择或精密定位
无尘室兼容
运动平台的尺寸160毫米×200 毫米
行程达400 毫米
负载容量达100 牛

产品描述

PIglide定位系统具有一个磁性线性电机、磁性预载空气轴承和一个光学线性编码器：非接触式无摩擦运动实现最佳精度和可靠性

编码器
PIglide Filter und Druckregler
单轴和多轴运动控制器
XY装置和个性化配置
花岗岩底座板和隔振系统

PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

由于无摩擦运动，因此不会形成颗粒，从而使平台成为无尘室应用的优先选择。

Select a travel range:

运动	A-110.050xx	A-110.100xx	A-110.200xx	A-110.300xx	A-110.400xx	单位	公差
主动轴	X	X	X	X	X
行程	50	100	200	300	400	毫米
螺距/偏转角⁽¹⁾	15	15	20	30	40	微弧度	最大
直线度/ 平面度⁽¹⁾	0.5	0.5	1	1	1.5	微米	最大
每10毫米行程的直线度/平面度⁽¹⁾	±10	±10	±10	±10	±10	纳米	最大
速度，空载⁽²⁾	0.5	0.5	1	1	1	米/秒	最大
加速度，空载⁽²⁾	10	10	30	30	30	米/平方秒	最大

机械特性	A-110.050xx	A-110.100xx	A-110.200xx	A-110.300xx	A-110.400xx	单位	公差
Z向负载能力⁽³⁾	100	100	100	100	100	牛	最大
移动质量	2.5	2.5	2.6	2.6	2.6	千克
总质量	6.3	7.5	11	12	14	千克
导向类型	空气轴承	空气轴承	空气轴承	空气轴承	空气轴承

驱动特性	A-110.050xx A-110.100xx	A-110.200xx A-110.300xx A-110.400xx	单位	公差
驱动类型	无铁芯三相线性电机	无铁芯三相线性电机
中间电路电压，均方根	48，标称值 60，最大值	48，标称值 60，最大值	伏直流
峰值力	25	85	牛	典型值
标称力	9.2	39	牛	典型值
力常数，均方根	4.2	12.3	牛/安	典型值
相间电阻	8.2	3.6	欧姆	典型值
相间电感	2.7	1.24	毫亨	典型值
相间反电动势	4.2	10.1	伏·秒/米	最大
布线	内部，无移动电缆	外部，移动电缆

定位	A-110.xxxA	A-110.xxxB
集成传感器	增量线性编码器	绝对编码器
传感器信号	正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期	BiSS-C
传感器分辨率	1.2纳米⁽⁴⁾	1纳米
双向重复性	±0.1微米⁽⁴⁾	±0.1微米
定位精度，未校准⁽⁵⁾	A-110.050：± 1.5微米 A-110.100：± 1.5微米 A-110.200：± 2微米 A-110.300：± 3微米 A-110.400：± 4微米	A-110.050：± 1.5微米 A-110.100：± 1.5微米 A-110.200：± 1.5微米 A-110.300：± 1.5微米 A-110.400：± 1.5微米
定位精度，已校准⁽⁵⁾	A-110.050：± 0.5微米 A-110.100：± 0.5微米 A-110.200：± 0.5微米 A-110.300：± 0.5微米 A-110.400：± 0.5微米	A-110.050：± 0.5微米 A-110.100：± 0.5微米 A-110.200：± 0.5微米 A-110.300：± 0.5微米 A-110.400：± 0.5微米

其他	A-110
工作压力⁽⁶⁾	60至70磅 /平方英寸（415至485千帕）
耗气量	< 1.0 SCFM (28 SLPM)
空气质量	清洁（过滤达1.0微米或更佳）ISO 8573–1 级别1 无油 - ISO 8573–1 级别1 干燥（-15°C露点） - ISO 8573–1 级别3
材料	硬膜铝，不锈钢固定硬件

⁽¹⁾取决于平台安装表面的平面度。

⁽²⁾可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。

⁽³⁾假定有效载荷重心位于运动平台上方50毫米范围以内的中央。平台仅设计用于水平操作。

⁽⁴⁾假定16384x插值。有关其他因子的使用，请联系PI。

⁽⁵⁾通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。为实现这些数值，平台必须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。

⁽⁶⁾为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。

手机/微信：13242449659电话：0755-89355351 QQ：842471885 邮箱：842471885@qq.com

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附件和可选配件

应用领域

规格