PI普爱 V-Z03 高负载精密Z向位移台
PI普爱 V-Z03 高负载精密Z向位移台 高性能和成本效益，VCM 直驱，高刚性 行程达5mm 光学直线光栅尺 具有高刚性和低俯仰角/偏转角 负载能力达150N 带有自锁力 产品描述 精密级Z向位移台 非常准确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳进给的防蠕动交叉滚柱导轨。非接触式限位和参考点开关（霍尔效应）。 音圈直接驱动 音圈电机为直接驱动器。在直接驱动器中，驱动器元件的力直接传递至要移动的负载，而无需使用联接器、传动螺杆或减速齿轮等机械传动元件。音圈驱动的另一个优势是快速响应。 增量式直线光栅尺用于高精度位置测量 非接触式可选编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。 交叉滚柱导轨 对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。 气动平衡器 集成气动平衡器，作用力高达150N。 应用领域 用于工业和科研的精密...
分类：
货号：
V-Z03
描述
PI普爱 V-Z03 高负载精密Z向位移台
高性能和成本效益，VCM 直驱，高刚性
- 行程达5mm
- 光学直线光栅尺
- 具有高刚性和低俯仰角/偏转角
- 负载能力达150N
- 带有自锁力
产品描述
精密级Z向位移台
非常准确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳进给的防蠕动交叉滚柱导轨。非接触式限位和参考点开关（霍尔效应）。
音圈直接驱动
音圈电机为直接驱动器。在直接驱动器中，驱动器元件的力直接传递至要移动的负载，而无需使用联接器、传动螺杆或减速齿轮等机械传动元件。音圈驱动的另一个优势是快速响应。
增量式直线光栅尺用于高精度位置测量
非接触式可选编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。
交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。
气动平衡器
集成气动平衡器，作用力高达150N。
应用领域
用于工业和科研的精密定位。半导体检测。
规格
| 运动 | V-Z03.016211E0 | 公差 |
|---|---|---|
| 主动轴 | Z | |
| Z向上的行程 | 5 mm | |
| Z向上的最大速度，空载 | 200 mm/s | |
| 平面度（沿Z向运动时X向上的线性串扰） | ± 0.6 µm | max. |
| 直线度（沿Z向运动时Y向上的线性串扰） | ± 0.5 µm | max. |
| Yaw（沿Z向运动时θX向上的转动串扰） | ± 10 µrad | max. |
| Pitch（沿Z向运动时θY向上的转动串扰） | ± 10 µrad | max. |
| 定位 | V-Z03.016211E0 | 公差 |
| Z向上的最小位移 | 0.035 µm | typ. |
| Z向上的已校准定位精度 | ± 0.3 µm | typ. |
| Z向上的双向重复精度 | 0.4 µm | typ. |
| 集成传感器 | 增量直线光栅尺 | |
| 传感器信号 | 正弦/余弦，1Vpp | |
| 传感器信号周期 | 20 µm | |
| Z向上的系统分辨率 | 5 nm | |
| 驱动性能 | V-Z03.016211E0 | 公差 |
| 驱动类型 | 音圈 | |
| 标称电压 | 60 V | |
| 标称电流，均方根 | 2.26 A | typ. |
| 峰值电流，均方根 | 9.9 A | typ. |
| Z向上的驱动力 | 40 N | typ. |
| Z向上的峰值力 | 180 N | |
| 力常数 | 27.6 N/A | |
| 电机常数 | 15.4 N/√W | typ. |
| 时间常数 | 0.32 ms | |
| 相间电阻 | 1.6 Ω | typ. |
| 相间电感 | 4.89 mH | |
| 相间反电动势 | 13.8 V·s/m | max. |
| 100%占空比的线圈功耗 | 9.9 W | |
| 机械性能 | V-Z03.016211E0 | 公差 |
| Z向上的允许推力 | 150 N | max. |
| 导轨 | 交叉滚柱导轨 | |
| 总质量 | 6500 g | |
| 材料 |
阳极氧化致黑铝、不锈钢 |
|
| 其他 | V-Z03.016211E0 | 公差 |
| 工作温度范围 | 5至40 °C | |
| 连接器 | D-Sub 26针（公头） | |
| 传感器连接器 | D-sub 15针（公头） | |
| 空气连接器 | 接头，用于外径为4mm的管子 | |
| 推荐控制器/驱动器 |
S-C02-2CST、S-C02-2CSC、G-910.RC0242200、模块化ACS控制器
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PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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