PI普爱 V-Z02.016211E0 高负载精密Z向位移台

PI普爱 V-Z02.016211E0 高负载精密Z向位移台 高性能且具成本效益,直线电机驱动,高动态 行程达5mm 直线光栅尺 负载能力达100N 集成气动平衡器 产品描述 精密级Z向位移台 非常准确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳进给的防蠕动交叉滚柱导轨。 直线电机直接驱动器 三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。 增量式直线光栅尺用于高精度位置测量 非接触式可选编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。 平衡配重系统 集成气动平衡器,作用力高达100N。 应用领域 适用于工业和科研领域,例如:半导体检测。精密自动化领域的高动态应用。 规格 运动 V-Z02.016211E0 公差 主动轴 Z   Z向上的行程 5 mm   Z向上的最大速度,空载 2...
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V-Z02.016211E0

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PI普爱 V-Z02.016211E0 高负载精密Z向位移台

高性能且具成本效益,直线电机驱动,高动态

  • 行程达5mm
  • 直线光栅尺
  • 负载能力达100N
  • 集成气动平衡器

产品描述

精密级Z向位移台

非常准确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳进给的防蠕动交叉滚柱导轨。

直线电机直接驱动器

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。

增量式直线光栅尺用于高精度位置测量

非接触式可选编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。

平衡配重系统

集成气动平衡器,作用力高达100N。

应用领域

适用于工业和科研领域,例如:半导体检测。精密自动化领域的高动态应用。

规格

运动 V-Z02.016211E0 公差
主动轴 Z  
Z向上的行程 5 mm  
Z向上的最大速度,空载 20 mm/s  
平面度(沿Z向运动时X向上的线性串扰) ± 1.5 µm typ.
直线度(沿Z向运动时Y向上的线性串扰) ± 2 µm typ.
Yaw(沿Z向运动时θX向上的转动串扰) ± 18 µrad typ.
Pitch(沿Z向运动时θY向上的转动串扰) ± 45 µrad typ.
定位 V-Z02.016211E0 公差
Z向上的最小位移 0.05 µm typ.
Z向上的已校准定位精度 ± 0.3 µm typ.
Z向上的双向重复精度 0.4 µm typ.
集成传感器 增量直线光栅尺  
传感器信号 正弦/余弦,1Vpp  
传感器信号周期 20 µm  
Z向上的系统分辨率 0.2 nm  
驱动性能 V-Z02.016211E0 公差
驱动类型 无铁芯三相直线电机  
标称电压 48 V  
标称电流,均方根 3.2 A typ.
峰值电流,均方根 7.3 A typ.
Z向上的驱动力 40 N typ.
Z向上的峰值力 90 N  
力常数 12.4 N/A  
电机常数 29 N/√W typ.
时间常数 0.36 ms  
相间电阻 1.8 Ω typ.
相间电感 0.62 mH  
相间反电动势 10.1 V·s/m max.
N-N极距 24 mm  
100%占空比的线圈功耗 70 W  
机械性能 V-Z02.016211E0 公差
Z向上的允许推力 100 N max.
导轨 交叉滚柱导轨  
总质量 4400 g  
材料

阳极氧化致黑铝、不锈钢

 
其他 V-Z02.016211E0 公差
工作温度范围 5至40 °C  
连接器 HD D-sub 26针(公头)  
传感器连接器 D-sub 15针(公头)  
推荐控制器/驱动器

S-C02-2CST、S-C02-2CSC、G-910.RC0242200、模块化ACS控制器

 

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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