PI普爱 V-Z02 高负载精密Z向位移台

PI普爱 V-Z02 高负载精密Z向位移台

PI普爱 V-Z02 高负载精密Z向位移台高性能且具成本效益，直线电机驱动，高动态行程达5mm 直线光栅尺负载能力达100N 集成气动平衡器产品描述精密级Z向位移台非常准确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳进给的防蠕动交叉滚柱导轨。直线电机直接驱动器三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。增量式直线光栅尺用于高精度位置测量非接触式可选编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。平衡配重系统集成气动平衡器，作用力高达100N。应用领域适用于工业和科研领域，例如：半导体检测。精密自动化领域的高动态应用。规格运动 V-Z02.016211E0 公差主动轴 Z Z向上的行程 5 mm Z向上的最大速度，空载 20 mm/s &nb...

分类：

德国PI普爱

货号：

V-Z02

PI普爱 V-Z02 高负载精密Z向位移台

高性能且具成本效益，直线电机驱动，高动态

行程达5mm
直线光栅尺
负载能力达100N
集成气动平衡器

产品描述

精密级Z向位移台

非常准确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳进给的防蠕动交叉滚柱导轨。

直线电机直接驱动器

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。

增量式直线光栅尺用于高精度位置测量

非接触式可选编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。

平衡配重系统

集成气动平衡器，作用力高达100N。

应用领域

适用于工业和科研领域，例如：半导体检测。精密自动化领域的高动态应用。

运动	V-Z02.016211E0	公差
主动轴	Z
Z向上的行程	5 mm
Z向上的最大速度，空载	20 mm/s
平面度（沿Z向运动时X向上的线性串扰）	± 1.5 µm	typ.
直线度（沿Z向运动时Y向上的线性串扰）	± 2 µm	typ.
Yaw（沿Z向运动时θX向上的转动串扰）	± 18 µrad	typ.
Pitch（沿Z向运动时θY向上的转动串扰）	± 45 µrad	typ.
定位	V-Z02.016211E0	公差
Z向上的最小位移	0.05 µm	typ.
Z向上的已校准定位精度	± 0.3 µm	typ.
Z向上的双向重复精度	0.4 µm	typ.
集成传感器	增量直线光栅尺
传感器信号	正弦/余弦，1Vpp
传感器信号周期	20 µm
Z向上的系统分辨率	0.2 nm
驱动性能	V-Z02.016211E0	公差
驱动类型	无铁芯三相直线电机
标称电压	48 V
标称电流，均方根	3.2 A	typ.
峰值电流，均方根	7.3 A	typ.
Z向上的驱动力	40 N	typ.
Z向上的峰值力	90 N
力常数	12.4 N/A
电机常数	29 N/√W	typ.
时间常数	0.36 ms
相间电阻	1.8 Ω	typ.
相间电感	0.62 mH
相间反电动势	10.1 V·s/m	max.
N-N极距	24 mm
100%占空比的线圈功耗	70 W
机械性能	V-Z02.016211E0	公差
Z向上的允许推力	100 N	max.
导轨	交叉滚柱导轨
总质量	4400 g
材料	阳极氧化致黑铝、不锈钢
其他	V-Z02.016211E0	公差
工作温度范围	5至40 °C
连接器	HD D-sub 26针（公头）
传感器连接器	D-sub 15针（公头）
推荐控制器/驱动器	S-C02-2CST、S-C02-2CSC、G-910.RC0242200、模块化ACS控制器

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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