PI普爱 P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统
PI普爱 P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统
用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型多轴压电系统
- 行程达120 微米×120 微米×120 微米
- 超紧凑型：44 毫米 × 44 毫米 × 44 毫米
- 分辨率达0.2纳米
- 快速响应行为
- 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 用于快速扫描
- 带集成式光纤夹持器的版本
- 极其经济实惠的系统
描述
应用领域
- 光子学/集成光学
- 显微操纵
- 生物技术
- 半导体测试
- 光纤定位
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
规格
|
|
P-611.3S P-611.3SF |
P-611.3O P-611.3OF |
单位 |
公差 |
|---|---|---|---|---|
|
主动轴 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
|
|
|
运动和定位 |
|
|
|
|
|
集成传感器 |
应变片传感器 |
|
|
|
|
-20至120 伏时的开环行程 |
120/轴 |
120/轴 |
微米 |
+20 % / -0 % |
|
行程，闭环 |
100/轴 |
– |
微米 |
|
|
分辨率，开环 |
0.2 |
0.2 |
纳米 |
典型值 |
|
分辨率，闭环 |
1 |
– |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差 |
0.1 |
– |
% |
典型值 |
|
重复精度 |
<10 |
– |
纳米 |
典型值 |
|
X、Y向上的螺距 |
±5 |
±5 |
微弧度 |
典型值 |
|
θX向上的倾斜（Z向运动） |
±10 |
±10 |
微弧度 |
典型值 |
|
X向上的偏转角 |
±20 |
±20 |
微弧度 |
典型值 |
|
Y向上的偏转角 |
±10 |
±10 |
微弧度 |
典型值 |
|
θY向上的倾斜（Z向运动） |
±10 |
±10 |
微弧度 |
典型值 |
|
机械特性 |
|
|
|
|
|
刚度 |
0.3 |
0.3 |
牛/微米 |
±20 % |
|
X / Y / Z向上的空载谐振频率 |
350 / 220 / 250 |
350 / 220 / 250 |
赫兹 |
±20 % |
|
带30克负载时X/Y/Z向上的谐振频率 |
270 / 185 / 230 |
270 / 185 / 230 |
赫兹 |
±20 % |
|
带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率 |
180 / 135 / 200 |
180 / 135 / 200 |
赫兹 |
±20 % |
|
运动方向上的推/拉力 |
15 / 10 |
15 / 10 |
牛 |
最大 |
|
负载容量 |
15 |
15 |
牛 |
最大 |
|
驱动特性 |
|
|
|
|
|
陶瓷类型 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
|
|
|
电容 |
1.5 |
1.5 |
微法 |
±20 % |
|
其他 |
|
|
|
|
|
工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
|
|
材料 |
铝、钢 |
铝、钢 |
|
|
|
尺寸 |
S版本： 48 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米 SF版本： 44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米 |
O版本： 44 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米 OF版本： 44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米 |
|
|
|
质量 |
0.32 |
0.32 |
千克 |
±5 % |
|
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
|
电压连接 |
Sub-D25针（公头） |
Sub-D25针（公头） |
|
|
|
传感器连接 |
Sub-D25针（公头） |
– |
|
|
|
推荐电控 |
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 |
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 |
|
|
手机/微信：13242449659电话：0755-89355351 QQ：842471885 邮箱：842471885@qq.com