PI普爱 P-616 NanoCube纳米定位器
PI普爱 P-616 NanoCube纳米定位器
用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型并联运动压电系统




- 并联运动设计可在所有空间方向上实现最高刚性
- 即使负载高达100克,高谐振频率也能实现高动态运动
- 单个安装平台的创新型产品设计可实现灵活使用
- 市场上独一无二的带ID芯片功能的纳米定位器
- 市场上行程为100 微米的最小、最轻的NanoCube
应用领域
- 光纤定位和对准
- 扫描显微镜
- 双光子聚合
- 纳米技术和纳米制造
- 光子学/集成光学
- 显微操纵
- 样本定位
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
获得的为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
规格
规格 |
P-616.3C |
单位 |
公差 |
---|---|---|---|
运动和定位 |
|
|
|
主动轴 |
X、Y、Z |
|
|
-20至120伏时的开环行程 |
110/轴 |
微米 |
+20 % / -0 % |
行程,闭环 |
100/轴 |
微米 |
+20 % / -0 % |
分辨率,1s,开环 |
0.3 |
纳米 |
典型值 |
分辨率,1s,闭环 |
0.4 |
纳米 |
典型值 |
线性误差 |
0.03 |
% |
典型值 |
双向重复精度,1s,10%行程范围内 |
<10 |
纳米 |
典型值 |
双向重复精度,1s,100%行程范围内 |
<15 |
纳米 |
典型值 |
传感器 |
|
|
|
传感器类型 |
电容式传感器 |
|
|
机械特性 |
|
|
|
刚度 |
0.5 |
牛/微米 |
±10 % |
X/Y/Z向上的空载谐振频率 |
700 |
赫兹 |
±10 % |
带38克负载的谐振频率 X/Y/Z |
380 |
赫兹 |
±20 % |
带100克负载的谐振频率 X/Y/Z |
250 |
赫兹 |
±20 % |
推/拉力大小 |
15 |
牛 |
最大 |
最大允许转矩 |
0.4 |
牛米 |
最大 |
驱动特性 |
|
|
|
陶瓷类型 |
PICMAP-885.50 |
|
|
电容 |
1.5/轴 |
微法 |
±20 % |
其他 |
|
|
|
工作温度范围 |
-20至80 |
摄氏度 |
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材料 |
铝、钢 |
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尺寸 |
40 × 40 × 40 |
毫米 |
|
移动质量(无负载) |
0.021 |
千克 |
|
不含电缆的质量 |
0.125 |
千克 |
|
包含电缆在内的质量 |
0.4 |
千克 |
|
电缆长度 |
1.5 |
米 |
±10毫米 |
连接器 |
D-sub 25W3(公头) |
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推荐电控 |
E-503、E-663、E-712、E-727 |
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