PI普爱 P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器
PI普爱 P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器
具有孔径的高精度XYZ扫描仪
应用领域
- 扫描显微镜
- 共聚焦显微镜
- 掩模/晶圆定位
- 表面测量技术
- 纳米压印
- 显微操纵
- 图像处理/稳定
- 高运动平面度和直线度的纳米定位
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
规格
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P-733.3CDP-733.3CL
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P-733.3DD
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单位
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公差
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|---|---|---|---|---|
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主动轴 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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运动和定位
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集成传感器 |
电容式 |
电容式 |
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-20至120 伏时的开环行程 |
115 微米×115 微米×12 微米 |
33 微米×33 微米×14 微米 |
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+20 % / -0 % |
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行程，闭环 |
100 微米×100 微米×10 微米 |
30 微米×30 微米×10 微米 |
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分辨率，开环 |
0.2（Z向上为0.1） |
0.1 |
纳米 |
典型值 |
|
分辨率，闭环 |
0.3（Z向上为0.2） |
0.1 |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差（X、Y） |
0.03 |
0.03* |
% |
典型值 |
|
线性误差（Z） |
0.03 |
0.03* |
% |
典型值 |
|
重复精度（X、Y） |
<2 |
<2 |
纳米 |
典型值 |
|
重复精度（Z） |
<1 |
<1 |
纳米 |
典型值 |
|
螺距（X、Y） |
<±3 |
<±5 |
微弧度 |
典型值 |
|
偏转角（X、Y） |
<±10 |
<±10 |
微弧度 |
典型值 |
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Z向运动时的倾斜 |
<±5 |
<±5 |
微弧度 |
典型值 |
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机械特性
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刚度 |
1.4（Z向上为9） |
4（Z向上为10） |
牛/微米 |
±20 % |
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谐振频率，空载 |
460（Z向上为1400） |
1200（Z向上为1100） |
赫兹 |
±20 % |
|
带120 克负载时的谐振频率 |
340（Z向上为1060） |
– |
赫兹 |
±20 % |
|
带200 克负载时的谐振频率 |
295（Z向上为650） |
530（Z向上为635） |
赫兹 |
±20 % |
|
运动方向上的推/拉力 |
50 / 20 |
50 / 20 |
牛 |
最大 |
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驱动特性
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压电陶瓷 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
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电容 |
6（Z向上为2.4） |
6.2（Z向上为3.3） |
微法 |
±20 % |
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其他
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工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
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材料 |
铝 |
铝 |
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质量 |
0.675 |
0.675 |
千克 |
±5 % |
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电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
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传感器/电压连接 |
CD版本：Sub-D 25W3（公头） CL版本：LEMO |
Sub-D25W3（公头） |
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推荐电控 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712 |
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