PI普爱 P-726 PIFOC高负载物镜扫描器
PI普爱 P-726 PIFOC高负载物镜扫描器
用于较重物镜的长行程、高动态扫描系统
- 较大物镜的高动态定位和扫描
- 谐振频率1120赫兹；560赫兹，物镜质量210克
- 典型步进和稳定约为6毫秒
- 行程100微米
- 直接测量型电容式传感器带来最高线性度、稳定性和控制动态
- 分辨率0.3纳米
- 零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性
应用领域
- 超分辨率显微镜
- 光学圆盘显微镜
- 共聚焦显微镜
- 3D成像
- 筛选
- 干涉测量
- 测量技术
- 自动聚焦系统
- 生物技术
- 半导体测试
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
规格
|
|
P-726.1CD
|
单位
|
公差
|
|---|---|---|---|
|
主动轴 |
Z |
|
|
|
运动和定位
|
|
|
|
|
集成传感器 |
电容式/直接测量 |
|
|
|
行程，闭环 |
100 |
微米 |
|
|
分辨率，闭环 |
0.4 |
纳米 |
典型值 |
|
分辨率，开环 |
0.3 |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差，闭环 |
0.02 |
% |
典型值 |
|
重复精度 |
±3 |
纳米 |
典型值 |
|
倾斜θX、θY |
±5 |
微弧度 |
典型值 |
|
X、Y向上的串扰 |
50 |
纳米 |
典型值 |
|
机械特性
|
|
|
|
|
运动方向上的刚性 |
3.4 |
牛/微米 |
±20 % |
|
谐振频率，空载 |
1120 |
赫兹 |
±20 % |
|
带210克负载时的谐振频率 |
560 |
赫兹 |
±20 % |
|
带310克负载时的谐振频率 |
480 |
赫兹 |
±20 % |
|
运动方向上的推/拉力 |
100 / 50 |
牛 |
最大 |
|
负载容量 |
20 |
牛 |
最大 |
|
驱动特性
|
|
|
|
|
压电陶瓷类型 |
PICMAP-885 |
|
|
|
电容 |
6 |
微法 |
±20 % |
|
其他
|
|
|
|
|
工作温度范围 |
-20 到 80 |
°C |
|
|
材料 |
铝、钢 |
|
|
|
物镜螺纹 |
M32 |
|
最大 |
|
质量 |
575 |
克 |
±5 % |
|
电缆长度 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
|
传感器/电压连接 |
Sub-D 7W2（公头） |
|
|
|
推荐电控 |
E-505、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
|
|
手机/微信：13242449659电话：0755-89355351 QQ：842471885 邮箱：842471885@qq.com