PI普爱 P-611.Z 压电Z向位移台
PI普爱 P-611.Z 压电Z向位移台
紧凑型纳米级定位器
- 结构紧凑：表面仅44 毫米×44 毫米
- 行程100微米
- 分辨率达0.2纳米
- 极其经济实惠的系统（机械部件和控制器）
- 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- X、XY、XZ和XYZ型
应用领域
- 微加工
- 光子
- 光纤定位
- 测试程序和质量保证
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
规格
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P-611.ZS
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P-611.Z0
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单位
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公差
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|---|---|---|---|---|
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主动轴 |
Z |
Z |
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运动和定位
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集成传感器 |
应变片传感器 |
- |
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-20至+120伏时的开环行程 |
120 |
120 |
微米 |
+20 % / -0 % |
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行程，闭环 |
100 |
- |
微米 |
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分辨率，开环 |
0.2 |
0.2 |
纳米 |
典型值 |
|
分辨率，闭环 |
2 |
- |
纳米 |
典型值 |
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线性误差 |
0.1 |
- |
% |
典型值 |
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重复精度 |
<10 |
- |
纳米 |
典型值 |
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θZ向上的倾斜（Z向运动） |
±5 |
±5 |
微弧度 |
典型值 |
|
θX向上的倾斜（Z向运动） |
±20 |
±20 |
微弧度 |
典型值 |
|
θY向上的倾斜（Z向运动） |
±5 |
±5 |
微弧度 |
典型值 |
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机械特性
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刚度 |
0.45 |
0.45 |
牛/微米 |
±20 % |
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谐振频率，空载 |
460 |
460 |
赫兹 |
±20 % |
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带30克负载时的谐振频率 |
375 |
375 |
赫兹 |
±20 % |
|
带100克负载时的谐振频率 |
265 |
265 |
赫兹 |
±20 % |
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推/拉力大小 |
15 / 10 |
15 / 10 |
牛 |
最大 |
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驱动特性
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陶瓷类型 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
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电容 |
1.5 |
1.5 |
微法 |
±20 % |
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其他
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工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
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材料 |
铝、钢 |
铝、钢 |
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尺寸 |
44 毫米 × 44 毫米 × 27 毫米 |
44 毫米 × 44 毫米 × 27 毫米 |
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质量 |
176 |
176 |
克 |
±5 % |
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电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
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传感器连接 |
LEMO |
LEMO |
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电压连接 |
LEMO |
LEMO |
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推荐电控 |
E-610、E-625、E-665、E-836 |
E-610、E-625、E-665、E-836 |
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