PI普爱 P-612.Z 压电Z平台
PI普爱 P-612.Z 压电Z平台 紧凑型纳米定位器，带孔径行程范围100微米分辨率高达0.2纳米线性误差0.2紧凑型：表面60毫米×60毫米特别经济的系统（机械和控制器）无间隙，高精度的弯曲导向系统由于ICMA®压电驱动器，使用寿命长 产品描述 应用领域 干涉测量显微镜纳米定位生物技术测试程序和质量保证半导体技术由于ICMA®压电驱动器的使用寿命长 PICMA®压电驱动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受湿度和由于电流增加而导致的故障。PICMA®驱动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘驱动器长十倍。经过验证，1000亿次循环一次故障。 由于零间隙弯曲导线的高引导精度 弯曲导线无维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚允许高承载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们在广泛的温度范围内工作。 Specifications Motion P-612.ZSL Tolerance Active axes Z Travel range in Z 100 µm Travel range in Z, open loop, at -20 to 120 V 110 µm +20 / -0 % Linearity error in Z 0.2 % typ. F...
分类：
货号：
P-612.Z
描述
PI普爱 P-612.Z 压电Z平台
紧凑型纳米定位器，带孔径
行程范围100微米
分辨率高达0.2纳米
线性误差0.2
紧凑型：表面60毫米×60毫米
特别经济的系统（机械和控制器）
无间隙，高精度的弯曲导向系统
由于ICMA®压电驱动器，使用寿命长
产品描述
应用领域
干涉测量
显微镜
纳米定位
生物技术
测试程序和质量保证
半导体技术
由于ICMA®压电驱动器的使用寿命长
PICMA®压电驱动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受湿度和由于电流增加而导致的故障。PICMA®驱动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘驱动器长十倍。经过验证，1000亿次循环一次故障。
由于零间隙弯曲导线的高引导精度
弯曲导线无维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚允许高承载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们在广泛的温度范围内工作。
Specifications
| Motion | P-612.ZSL | Tolerance |
|---|---|---|
| Active axes | Z | |
| Travel range in Z | 100 µm | |
| Travel range in Z, open loop, at -20 to 120 V | 110 µm | +20 / -0 % |
| Linearity error in Z | 0.2 % | typ. |
| Flatness (Linear crosstalk in X with motion in Z) | ± 20 nm | typ. |
| Straightness (Linear crosstalk in Y with motion in Z) | ± 20 nm | typ. |
| Yaw (Rotational crosstalk in θX with motion in Z) | ± 10 µrad | typ. |
| Pitch (Rotational crosstalk in θY with motion in Z) | ± 10 µrad | typ. |
| Positioning | P-612.ZSL | Tolerance |
| Unidirectional repeatability in Z | ± 4 nm | typ. |
| Resolution in Z, open loop | 0.2 nm | typ. |
| Integrated sensor | SGS, indirect position measuring | |
| System resolution in Z | 1.5 nm | |
| Drive Properties | P-612.ZSL | Tolerance |
| Drive type | PICMA® | |
| Electrical capacitance in Z | 3 µF | ±20 % |
| Mechanical Properties | P-612.ZSL | Tolerance |
| Stiffness in Z | 0.63 N/µm | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, unloaded | 490 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, under load with 30 g | 420 Hz | ±20 % |
| Permissible push force in Z | 15 N | max. |
| Permissible pull force in Z | 10 N | max. |
| Guide | Flexure guide with lever amplification | |
| Overall mass | 280 g | ±5 % |
| Material |
Aluminum |
|
| Miscellaneous | P-612.ZSL | Tolerance |
| Operating temperature range | -20 to 80 °C | |
| Connector | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | |
| Sensor connector | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | |
| Cable length | 1.5 m | ±10 mm |
| Recommended controllers / drivers |
E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665 |
系统的分辨率仅受放大器的噪声和测量技术的限制，因为PI压电纳米定位系统是无摩擦的。
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