PI普爱 P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪
PI普爱 P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪
直接位置测量和通光孔径
- 行程100微米
- 带电容式传感器的直接计量
- 分辨率达0.3纳米，闭环
- 通孔尺寸50毫米×50毫米
- 可提供带附加自由度的其他版本
- 可提供XY和XYZ版本
- 可提供真空兼容版本
应用领域
- 扫描显微镜
- 共聚焦显微镜
- 掩模/晶圆定位
- 表面测量技术
- 纳米压印
- 显微操纵
- 图像处理/稳定
- 高运动平面度和直线度的纳米定位
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
规格
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P-733.ZCD/P-733.ZCL
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单位
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公差
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|---|---|---|---|
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主动轴 |
Z |
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运动和定位
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集成传感器 |
电容式 |
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-20至120 伏时的开环行程 |
115 |
微米 |
+20 % / -0 % |
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行程，闭环 |
100 |
微米 |
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|
分辨率，开环 |
0.2 |
纳米 |
典型值 |
|
分辨率，闭环 |
0.3 |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差 |
0.03 |
% |
典型值 |
|
重复精度 |
<2 |
纳米 |
典型值 |
|
绕Z旋转 |
<10 |
微弧度 |
典型值 |
|
绕X旋转 |
<5 |
微弧度 |
典型值 |
|
绕Y旋转 |
<5 |
微弧度 |
典型值 |
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机械特性
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刚度 |
2.5 |
牛/微米 |
±20 % |
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谐振频率，空载 |
700 |
赫兹 |
±20 % |
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带120 克负载时的谐振频率 |
530 |
赫兹 |
±20 % |
|
带200 克负载时的谐振频率 |
415 |
赫兹 |
±20 % |
|
推/拉力大小 |
50 / 20 |
牛 |
最大 |
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驱动特性
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压电陶瓷 |
PICMAP-885 |
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电容 |
6 |
微法 |
±20 % |
|
其他
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工作温度范围 |
20 到 80 |
°C |
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材料 |
铝 |
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尺寸 |
100 毫米 × 100 毫米 × 25 毫米 |
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质量 |
580 |
克 |
±5 % |
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电缆长度 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
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传感器/电压连接 |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
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推荐电控 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-754 |
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