PI普爱 P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密Z向定位器
PI普爱 P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密Z向定位器
多种行程范围和轴配置
- 行程为50微米至250微米（开环为350微米）
- 分辨率达0.1纳米
- 线性误差仅0.02%
- 带电容式传感器的直接计量
- X、XY、Z和XYZ型
应用领域
- 干涉测量
- 显微镜
- 纳米定位
- 生物技术
- 测试应用
- 半导体技术
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
规格
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P-620.ZCD /P-620.ZCL
|
P-621.ZCD /P-621.ZCL
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P-622.ZCD /P-622.ZCL
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单位
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公差
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|---|---|---|---|---|---|
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主动轴 |
Z |
Z |
Z |
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运动和定位
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集成传感器 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
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-20至120 伏时的开环行程 |
65 |
140 |
350 |
微米 |
+20 % / -0 % |
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行程，闭环 |
50 |
100 |
250 |
微米 |
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|
分辨率，开环 |
0.1 |
0.2 |
0.5 |
纳米 |
典型值 |
|
分辨率，闭环 |
0.2 |
0.3 |
1 |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差 |
0.02 |
0.02 |
0.02 |
% |
典型值 |
|
重复精度 |
±1 |
±1 |
±1 |
纳米 |
典型值 |
|
倾斜θX、θY |
<20 |
<20 |
<80 |
微弧度 |
典型值 |
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机械特性
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刚度 |
0.5 |
0.6 |
0.24 |
牛/微米 |
±20 % |
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谐振频率，空载 |
1000 |
790 |
360 |
赫兹 |
±20 % |
|
带30 克负载时的谐振频率 |
690 |
500 |
270 |
赫兹 |
±20 % |
|
推/拉力大小 |
10 / 5 |
10 / 8 |
10 / 8 |
牛 |
最大 |
|
负载容量 |
10 |
10 |
10 |
牛 |
最大 |
|
侧向负载能力 |
10 |
10 |
10 |
牛 |
最大 |
|
驱动特性
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陶瓷类型 |
PICMAP-883 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
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电容 |
0.7 |
3 |
6.2 |
微法 |
±20 % |
|
其他
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工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
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材料 |
铝 |
铝 |
铝 |
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尺寸 |
30 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米 |
40 毫米 × 40 毫米 × 17.5 毫米 |
50 毫米 × 50 毫米 × 17.5 毫米 |
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质量 |
0.12 |
0.17 |
0.24 |
千克 |
±5 % |
|
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
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传感器/电压连接 |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
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推荐电控 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
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