PI普爱 P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器
PI普爱 P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器
多种行程范围和轴配置
- 行程为50至1800微米
- 分辨率达0.1纳米
- 线性误差 0.02 %
- X、XY、Z版本；可提供XYZ组合
- 真空兼容版本达10-9百帕
应用领域
- 干涉测量
- 显微镜
- 纳米定位
- 生物技术
- 测试应用
- 半导体技术
- 光子
- 光纤定位
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
规格
|
运动和定位
|
P-620.1CDP-620.1CL
|
P-621.1CDP-621.1CL
|
P-622.1CDP-622.1CL
|
P-625.1CDP-625.1CL
|
P-628.1CDP-628.1CL
|
P-629.1CDP-629.1CL
|
单位
|
公差
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
集成传感器 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
|
|
|
-20至120 伏时的开环行程 |
60 |
120 |
300 |
600 |
950 |
1800 |
微米 |
+20 % / -0 % |
|
行程，闭环 |
50 |
100 |
250 |
500 |
800 |
1500 |
微米 |
|
|
分辨率，闭环/开环 |
0.2 / 0.1 |
0.4 / 0.2 |
0.7 / 0.4 |
1.4 / 0.5 |
1.8 / 0.5 |
3 / 2 |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差，闭环 |
0.02 |
0.02 |
0.02 |
0.03 |
0.03* |
0.03** |
% |
典型值 |
|
重复精度 |
±1 |
±1 |
±1 |
±5 |
±10 |
±14 |
纳米 |
典型值 |
|
螺距/偏转角 |
±3 |
±3 |
±3 |
±6 |
±6 |
±30 / ±10 |
微弧度 |
典型值 |
|
机械特性
|
P-620.1CDP-620.1CL
|
P-621.1CDP-621.1CL
|
P-622.1CDP-622.1CL
|
P-625.1CDP-625.1CL
|
P-628.1CDP-628.1CL
|
P-629.1CDP-629.1CL
|
单位
|
公差
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
运动方向上的刚性 |
0.42 |
0.35 |
0.2 |
0.1 |
0.12 |
0.13 |
牛/微米 |
±20 % |
|
谐振频率，空载 |
1100 |
800 |
400 |
215 |
125 |
125 |
赫兹 |
±20 % |
|
带20 克负载时的谐振频率 |
550 |
520 |
340 |
180 |
115 |
120 |
赫兹 |
±20 % |
|
带120 克负载时的谐振频率 |
260 |
240 |
185 |
110 |
90 |
110 |
赫兹 |
±20 % |
|
运动方向上的推/拉力 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
牛 |
最大 |
|
负载容量 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
牛 |
最大 |
|
侧力 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
8 |
牛 |
最大 |
|
其他
|
P-620.1CDP-620.1CL
|
P-621.1CDP-621.1CL
|
P-622.1CDP-622.1CL
|
P-625.1CDP-625.1CL
|
P-628.1CDP-628.1CL
|
P-629.1CDP-629.1CL
|
单位
|
公差
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
|
|
材料 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
|
|
|
尺寸 |
30 毫米 × 30 毫米 × 12 毫米 |
40 毫米 × 40 毫米 × 15 毫米 |
50 毫米 × 50 毫米 × 15 毫米 |
60 毫米 × 60 毫米 × 15 毫米 |
80 毫米 × 80 毫米 × 17 毫米 |
100 毫米 × 100 毫米 × 22.5 毫米 |
|
|
|
质量 |
0.11 |
0.16 |
0.2 |
0.24 |
0.38 |
0.72 |
千克 |
±5 % |
|
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
|
传感器/电压连接 |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
|
|
|
推荐电控 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
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