PI普爱 P-611.1 线性压电陶瓷定位系统
PI普爱 P-611.1 线性压电陶瓷定位系统
价格实惠的紧凑型线性定位系统
- 紧凑型设计:表面为44×44毫米
- 行程120微米
- 分辨率达0.2纳米
- 极其经济实惠的系统(机械部件和控制器)
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 可提供Z向位移台、XY、XZ和XYZ版本
应用领域
- 显微镜
- 纳米定位
- 生物技术
- 测试应用
- 半导体技术
- 光子
- 光纤定位
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
规格
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P-611.1S
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P-611.10
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单位
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公差
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---|---|---|---|---|
主动轴 |
X |
X |
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运动和定位
|
|
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集成传感器 |
应变片传感器 |
- |
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-20至+120伏时的开环行程 |
120 |
120 |
微米 |
+20 % / -0 % |
行程,闭环 |
100 |
- |
微米 |
|
分辨率,开环 |
0.2 |
0.2 |
纳米 |
典型值 |
分辨率,闭环 |
2 |
- |
纳米 |
典型值 |
线性误差,闭环 |
0.1 |
- |
% |
典型值 |
重复精度 |
<10 |
- |
纳米 |
典型值 |
螺距 |
±5 |
±5 |
微弧度 |
典型值 |
偏转角 |
±20 |
±20 |
微弧度 |
典型值 |
平面度 |
10 |
10 |
纳米 |
典型值 |
机械特性
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运动方向上的刚性 |
0.2 |
0.2 |
牛/微米 |
±20 % |
谐振频率,空载 |
400 |
400 |
赫兹 |
±20 % |
带30克负载时的谐振频率 |
300 |
300 |
赫兹 |
±20 % |
带100克负载时的谐振频率 |
195 |
195 |
赫兹 |
±20 % |
运动方向上的推/拉力 |
15 / 10 |
15 / 10 |
牛 |
最大 |
负载容量 |
15 |
15 |
牛 |
最大 |
驱动特性
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陶瓷类型 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
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电容 |
1.5 |
1.5 |
微法 |
±20 % |
其他
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|
工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
|
材料 |
铝、钢 |
铝、钢 |
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尺寸 |
44 毫米 × 44 毫米 × 17 毫米 |
44 毫米 × 44 毫米 × 17 毫米 |
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|
质量 |
0.135 |
0.135 |
千克 |
±5 % |
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
电压连接 |
LEMO |
LEMO |
|
|
传感器连接 |
LEMO |
- |
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推荐电控 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-836 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-836 |
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