PI普爱 P-753 LISA线性促动器和平台

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PI普爱 P-753 LISA线性促动器和平台

PI普爱 P-753 LISA线性促动器和平台位置动态稳定同时为平台和促动器提供导向行程达38 微米分辨率 0.1 nm 可提供非磁性版本直接驱动可实现极其快速的响应行为电容式传感器带来最高线性度 to content产品描述描述应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 PICMA直接驱动可实现更高刚性和动态带直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移，带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。因此可实现快速响应速度，并在压电陶瓷驱动范围内实现最高的刚性和动态。 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用...

分类：

德国PI普爱

货号：

P-753

PI普爱 P-753 LISA线性促动器和平台

位置动态稳定

同时为平台和促动器提供导向
行程达38 微米
分辨率 0.1 nm
可提供非磁性版本
直接驱动可实现极其快速的响应行为
电容式传感器带来最高线性度

产品描述

扫描显微镜
测量技术
测试程序和质量保证
光子
光纤定位

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

带直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移，带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。因此可实现快速响应速度，并在压电陶瓷驱动范围内实现最高的刚性和动态。

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

	P-753.1CD	P-753.2CD	P-753.3CD	单位	公差
主动轴	X	X	X
运动和定位
集成传感器	电容式	电容式	电容式
行程，闭环	15	30	38	微米
分辨率，闭环	0.1	0.2	0.25	纳米	典型值
线性误差，闭环	0.03	0.03	0.03	%	典型值
重复精度	±1	±2	±3	纳米	典型值
螺距/偏转角	±5	±7	±10	微弧度	典型值
机械特性
运动方向上的刚性	45	24	16	牛/微米	±20 %
谐振频率，空载	5.6	3.7	2.9	千赫兹	±20 %
带200 克负载时的谐振频率	2.5	1.7	1.4	千赫兹	±20 %
运动方向上的推/拉力	100 / 20	100 / 20	100 / 20	牛	最大
负载能力（垂直/水平操作）	10 / 2	10 / 2	10 / 2	千克	最大
驱动特性
陶瓷类型	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885
电容	1.5	3.1	4.6	微法	±20 %
其他
工作温度范围	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	°C
材料	钢	钢	钢
尺寸	44 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米	62 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米	80 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米
质量	0.16	0.215	0.26	千克	±5 %
电缆长度	1.5	1.5	1.5	米	±10 毫米
传感器/电压连接	D-sub 7W2（公头）	D-sub 7W2（公头）	D-sub 7W2（公头）
推荐电控	E-625，E-754	E-625，E-754	E-625，E-754

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

可提供带LEMO连接器的版本，如 P-753.x1C。

可提供真空达10^-9百帕的版本，如P-753.xUD。

可提供非磁性版本，如P-753.xND。

所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。

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