PI普爱 P-734 XY压电扫描仪
PI普爱 P-734 XY压电扫描仪
具有最小振摆和通光孔径的高动态系统
- 超高精度轨迹控制，特别适用于表面分析和扫描显微镜
- 更佳的响应和多轴精度：并联运动/计量
- 行程为100微米×100微米
- 通光孔径56毫米 × 56毫米
- 电容式传感器可实现小于0.4纳米的分辨率
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
规格
|
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|---|
|
主动轴 |
X, Y |
X, Y |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
集成传感器 |
电容式 |
电容式 |
|
|
|
开环行程，-20至120伏 |
110微米×110微米 |
110微米×110微米 |
|
最小（+20 % / -0 %） |
|
闭环行程 |
100微米×100微米 |
100微米×100微米 |
|
|
|
开环分辨率 |
0.2 |
0.2 |
纳米 |
典型值 |
|
闭环分辨率 |
0.3 |
0.3 |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差 |
0.03 |
0.03 |
% |
典型值 |
|
重复精度 |
<2.5 |
<2.5 |
纳米 |
典型值 |
|
螺距 |
<3 |
<3 |
微弧度 |
典型值 |
|
偏转角 |
<10 |
<10 |
微弧度 |
典型值 |
|
平面度 |
典型值 <5 最大值 10 |
典型值 <5 最大值 10 |
纳米 |
|
|
|
|
|
|
|
|
刚度 |
3 |
3 |
牛/微米 |
±20 % |
|
谐振频率，空载 |
500 |
500 |
赫兹 |
±20 % |
|
200克时的谐振频率 |
350 |
350 |
赫兹 |
±20 % |
|
500克时的谐振频率 |
250 |
250 |
赫兹 |
±20 % |
|
运动方向上的推/拉力 |
300 / 100 |
300 / 100 |
牛 |
最大 |
|
负载容量 |
20 |
20 |
牛 |
最大 |
|
|
|
|
|
|
|
陶瓷类型 |
PICMA P-885 |
PICMA P-885 |
|
|
|
电容 |
6.2 |
6.2 |
微法 |
±20 % |
|
动态操作电流效率 |
7.8 |
7.8 |
微安/(赫兹 × 微米) |
±20 % |
|
|
|
|
|
|
|
工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
|
|
材料 |
铝 |
铝 |
|
|
|
质量（包含电缆） |
1.04 |
1.04 |
千克 |
±5 % |
|
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
|
传感器连接 |
2 × LEMO |
Sub-D特殊 |
|
|
|
电压连接 |
4 × LEMO |
Sub-D特殊 |
|
|
每1赫兹和1微米的动态操作电流效率，单位为微安。例：10赫兹下10微米的正弦扫描需要约7.8毫安的驱动电流。
推荐控制器/放大器
P-734.2CL：带E-503放大器模块（多通道）或E-505（每轴一个，高性能）和E-509控制器的E-500模块化压电陶瓷控制器系统
P-734.2CD：多通道数字式控制器：E-710 / E-725台式，E-712模块化，E-725高功率，E-761 PCI板
手机/微信：13242449659电话：0755-89355351 QQ：842471885 邮箱：842471885@qq.com