PI普爱 P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
PI普爱 P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
具有孔径的高精度XY扫描仪
- X和Y向上的行程达100微米×100微米
- 电容式传感器使分辨率达0.1纳米
- 带直接驱动器的高速版本
- 可提供真空兼容和非磁性版本
- 并联运动实现更高精度和动态
- 导向误差主动补偿的并行计量
- 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
- 50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
产品描述
应用领域
- 扫描显微镜
- 共聚焦显微镜
- 掩模/晶圆定位
- 表面测量技术
- 纳米压印
- 显微操纵
- 图像处理/稳定
- 高运动平面度和直线度的纳米定位
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
规格
|
|
P-733.2CDP-733.2CL
|
P-733.2DD
|
单位
|
公差
|
|---|---|---|---|---|
|
主动轴 |
X, Y |
X, Y |
|
|
|
运动和定位
|
|
|
|
|
|
集成传感器 |
电容式 |
电容式 |
|
|
|
-20至120 伏时的开环行程 |
115 微米×115 微米 |
33 微米×33 微米 |
|
+20 % / -0 % |
|
行程，闭环 |
100 微米×100 微米 |
30 微米×30 微米 |
|
|
|
分辨率，开环 |
0.2 |
0.1 |
纳米 |
典型值 |
|
分辨率，闭环 |
0.3 |
0.1 |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差（X、Y） |
0.03 |
0.03* |
% |
典型值 |
|
重复精度（X、Y） |
<2 |
<2 |
纳米 |
典型值 |
|
螺距（X、Y） |
<±3 |
<±5 |
微弧度 |
典型值 |
|
偏转角（X、Y） |
<±10 |
<±10 |
微弧度 |
典型值 |
|
机械特性
|
|
|
|
|
|
刚度 |
1.5 |
20 |
牛/微米 |
±20 % |
|
谐振频率，空载 |
500 |
2230 |
赫兹 |
±20 % |
|
带120 克负载时的谐振频率 |
370 |
– |
赫兹 |
±20 % |
|
带200 克负载时的谐振频率 |
340 |
1550 |
赫兹 |
±20 % |
|
运动方向上的推/拉力 |
50 / 20 |
50 / 20 |
牛 |
最大 |
|
驱动特性
|
|
|
|
|
|
压电陶瓷 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
|
|
|
电容 |
6 |
6.2 |
微法 |
±20 % |
|
其他
|
|
|
|
|
|
工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
|
|
材料 |
铝 |
铝 |
|
|
|
质量 |
0.58 |
0.58 |
千克 |
±5 % |
|
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
|
传感器/电压连接 |
CD版本：Sub-D 25W3（公头） CL版本：LEMO |
Sub-D25W3（公头） |
|
|
|
推荐电控 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712 |
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712 |
|
|
手机/微信：13242449659电话：0755-89355351 QQ：842471885 邮箱：842471885@qq.com