PI普爱 P-612.2 XY压电纳米定位器
PI普爱 P-612.2 XY压电纳米定位器 紧凑型，带孔径紧凑型：表面 60 毫米 × 60 毫米100 微米 100 微米闭环行程范围（130 微米 × 130 微米，开环）适用于成本敏感的应用清晰孔径 20 毫米 × 20 毫米并联运动学，响应时间更快，多轴精度更高由于PICMA压电驱动器，使用寿命更长也提供紧凑型版本 产品描述 应用领域 扫描显微镜高通量显微镜超分辨率显微镜掩模/晶圆定位干涉测量测量技术生物技术微操作由于PICMA®压电驱动器使用寿命长 PICMA®压电驱动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受湿度和由于泄漏电流增加而导致的故障。PICMA®驱动器的使用寿命比传统聚合物绝缘驱动器十倍。经过验证，1000亿次循环没有一次故障。 由于零间隙弯曲导板具有高引导精度 弯曲导无需维护、摩擦和磨损，也不需要润滑。它们的刚性允许高承载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们在广泛的温度范围内工作 规格 Select a travel range: 100 µm Motion P-612.2SL Tolerance Active axes X ǀ Y Travel range in X 1...
分类：
货号：
P-612.2
描述
PI普爱 P-612.2 XY压电纳米定位器
紧凑型，带孔径
紧凑型：表面 60 毫米 × 60 毫米
100 微米 100 微米闭环行程范围（130 微米 × 130 微米，开环）
适用于成本敏感的应用清晰孔径 20 毫米 × 20 毫米
并联运动学，响应时间更快，多轴精度更高
由于PICMA压电驱动器，使用寿命更长
也提供紧凑型版本
产品描述
应用领域
扫描显微镜
高通量显微镜
超分辨率显微镜
掩模/晶圆定位干涉测量
测量技术
生物技术
微操作
由于PICMA®压电驱动器使用寿命长
PICMA®压电驱动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受湿度和由于泄漏电流增加而导致的故障。PICMA®驱动器的使用寿命比传统聚合物绝缘驱动器十倍。经过验证，1000亿次循环没有一次故障。
由于零间隙弯曲导板具有高引导精度
弯曲导无需维护、摩擦和磨损，也不需要润滑。它们的刚性允许高承载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们在广泛的温度范围内工作
规格
| Motion | P-612.2SL | Tolerance |
|---|---|---|
| Active axes | X ǀ Y | |
| Travel range in X | 100 µm | |
| Travel range in Y | 100 µm | |
| Travel range in X, open loop, at -20 to 120 V | 130 µm | +20 / -0 % |
| Travel range in Y, open loop, at -20 to +120 V | 130 µm | +20 / -0 % |
| Linearity error | 0.4 % | typ. |
| Angular error E_AY (pitch) | ± 10 µrad | typ. |
| Angular error E_BX (pitch) | ± 10 µrad | typ. |
| Angular error E_CX (yaw) | ± 10 µrad | typ. |
| Angular error E_CY (yaw) | ± 50 µrad | typ. |
| Positioning | P-612.2SL | Tolerance |
| Unidirectional repeatability in X | ± 10 nm | typ. |
| Unidirectional repeatability in Y | ± 10 nm | typ. |
| Resolution in X, open loop | 0.8 nm | typ. |
| Resolution in Y, open loop | 0.8 nm | typ. |
| Integrated sensor | SGS, indirect position measuring | |
| System resolution in X | 5 nm | |
| System resolution in Y | 5 nm | |
| Drive Properties | P-612.2SL | Tolerance |
| Drive type | PICMA® | |
| Electrical capacitance | 1.5 µF | ±20 % |
| Mechanical Properties | P-612.2SL | Tolerance |
| Stiffness in X | 0.15 N/µm | ±20 % |
| Stiffness in Y | 0.15 N/µm | ±20 % |
| Resonant frequency in X, unloaded | 400 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in X, under load with 100 g | 200 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Y, unloaded | 400 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Y, under load with 100 g | 200 Hz | ±20 % |
| Permissible push force in X | 15 N | max. |
| Permissible push force in Y | 15 N | max. |
| Permissible push force in Z | 15 N | max. |
| Permissible pull force in X | 5 N | max. |
| Permissible pull force in Y | 5 N | max. |
| Guide | Flexure guide with lever amplification | |
| Overall mass | 150 g | ±5 % |
| Material |
Aluminum, steel |
|
| Miscellaneous | P-612.2SL | Tolerance |
| Operating temperature range | -20 to 80 °C | |
| Connector | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | |
| Sensor connector | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | |
| Cable length | 1.5 m | ±10 mm |
| Recommended controllers / drivers |
E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665 |
系统的分辨率仅受放大器的噪声和测量技术的限制，因为PI压电纳米定位系统是无摩擦的。
咨询定制版本
在PI，技术数据在22 ±3 °C时指定。除非另有说明，否则这些值适用于无负载条件。某些属性是相互的。标识“typ.”表示某个属性的统计平均值；它并不代表每个提供的产品的保证值。在产品的最终检查过程中，只有选定的属性分析，而不是全部。请注意，某些产品特性可能会随着操作时间的增加而恶化。
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