PI普爱 P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台
PI普爱 P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台
行程可变的高精度XY向纳米定位器
- 行程为50至1800微米
- 分辨率达0.1纳米
- 定位精度 0.02 %
- 带电容式传感器的直接计量
- X、XY、Z和XYZ型
产品描述
应用领域
- 干涉测量
- 显微镜
- 纳米定位
- 生物技术
- 测试程序和质量保证
- 光子
- 光纤定位
- 半导体技术
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
规格
|
|
P-620.2CD P-620.2CL |
P-621.2CD P-621.2CL |
P-622.2CD P-622.2CL |
P-625.2CD P-625.2CL |
P-628.2CD P-628.2CL |
P-629.2CD P-629.2CL |
单位 |
公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
主动轴 |
X, Y |
X, Y |
X, Y |
X, Y |
X, Y |
X, Y |
|
|
|
运动和定位 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
集成传感器 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
|
|
|
-20至120 伏时X、Y向上的开环行程 |
60 |
120 |
300 |
600 |
950 |
1800 |
微米 |
+20 % / -0 % |
|
X、Y向上的闭环行程 |
50 |
100 |
250 |
500 |
800 |
1500 |
微米 |
|
|
X、Y向上的开环分辨率 |
0.1 |
0.2 |
0.4 |
0.5 |
0.5 |
2 |
纳米 |
典型值 |
|
X、Y向上的闭环分辨率 |
0.2 |
0.4 |
0.7 |
1.4 |
3.5 |
3.5 |
纳米 |
典型值 |
|
X、Y向上的线性误差 |
0.02 |
0.02 |
0.02 |
0.03 |
0.03* |
0.03** |
% |
典型值 |
|
X、Y向上的重复精度 |
±2 |
±2 |
±2 |
±5 |
±10 |
±14 |
纳米 |
典型值 |
|
螺距/偏转角 |
±3 |
±3 |
±3 |
±3 / ±5 |
±20 / ±5 |
±30 / ±5 |
微弧度 |
典型值 |
|
机械特性 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
X、Y向上的刚性 |
0.22 |
0.25 |
0.2 |
0.1 |
0.05 |
0.1 |
牛/微米 |
±20 % |
|
X向上的空载谐振频率 |
575 |
420 |
225 |
135 |
75 |
60 |
赫兹 |
±20 % |
|
Y向上的空载谐振频率 |
800 |
535 |
300 |
195 |
105 |
100 |
赫兹 |
±20 % |
|
带50 克负载时X向上的谐振频率 |
270 |
285 |
180 |
120 |
60 |
55 |
赫兹 |
±20 % |
|
带50 克负载时Y向上的谐振频率 |
395 |
365 |
215 |
150 |
85 |
85 |
赫兹 |
±20 % |
|
带100 克负载时X向上的谐振频率 |
285 |
220 |
160 |
105 |
55 |
50 |
赫兹 |
±20 % |
|
带100 克负载时Y向上的谐振频率 |
300 |
285 |
175 |
125 |
75 |
80 |
赫兹 |
±20 % |
|
运动方向上的推/拉力 |
10 / 5 |
10 / 8 |
10 / 8 |
10 / 8 |
10 / 8 |
10 / 8 |
牛 |
最大 |
|
负载容量 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
牛 |
最大 |
|
侧力 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
牛 |
最大 |
|
驱动特性 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
压电陶瓷 |
PICMAP-883 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-887 |
PICMAP-888 |
|
|
|
X、Y向上的电容 |
0.35 |
1.5 |
3.1 |
6.2 |
19 |
52 |
微法 |
±20 % |
|
其他 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
|
|
材料 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
|
|
|
尺寸 |
30 毫米 × 30 毫米 × 21.5 毫米 |
40 毫米 × 40 毫米 × 25 毫米 |
50 毫米 × 50 毫米 × 25 毫米 |
60 毫米 × 60 毫米 × 25 毫米 |
80 毫米 × 80 毫米 × 25 毫米 |
100 毫米 × 100 毫米 × 40 毫米 |
|
|
|
质量 |
0.195 |
0.295 |
0.348 |
0.43 |
0.7 |
1.37 |
千克 |
±5 % |
|
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
|
传感器/电压连接 |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO |
|
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|
推荐电控 |
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727 |
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