PI普爱 P-611.XZ • P-611.2 XZ和XYZ向纳米定位器
PI普爱 P-611.XZ • P-611.2 XZ和XYZ向纳米定位器
用于纳米定位的紧凑型双轴压电陶瓷系统
- 结构紧凑：表面44 毫米×44 毫米
- 行程达120 微米×120微米
- 分辨率达0.2纳米
- 极其经济实惠的系统（机械部件和控制器）
- 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 也可提供线性和Z向位移台以及XYZ版本
产品描述
应用领域
- 干涉测量
- 显微镜
- 纳米定位
- 生物技术
- 测试程序和质量保证
- 光子
- 光纤定位
- 半导体技术
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
规格
|
|
P-611.2S |
P-611.20 |
P-611.XZS |
P-611.XZ0 |
单位 |
公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
主动轴 |
X, Y |
X, Y |
X, Z |
X, Z |
|
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运动和定位 |
|
|
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|
集成传感器 |
应变片传感器 |
– |
应变片传感器 |
– |
|
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-20至120 伏时的开环行程 |
120 |
120 |
120 |
120 |
微米 |
+20 % / -0 % |
|
行程，闭环 |
100 |
– |
100 |
– |
微米 |
|
|
分辨率，开环 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
纳米 |
典型值 |
|
分辨率，闭环 |
2 |
– |
2 |
– |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差 |
0.1 |
– |
0.1 |
– |
% |
典型值 |
|
重复精度 |
<10 |
– |
<10 |
– |
纳米 |
典型值 |
|
X、Y向上的螺距 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
微弧度 |
典型值 |
|
θX向上的倾斜（Z向运动） |
– |
– |
±10 |
±10 |
微弧度 |
典型值 |
|
X向上的偏转角 |
±20 |
±20 |
±20 |
±20 |
微弧度 |
典型值 |
|
Y向上的偏转角 |
±10 |
±10 |
– |
– |
微弧度 |
典型值 |
|
θY向上的倾斜（Z向运动） |
– |
– |
±10 |
±10 |
微弧度 |
典型值 |
|
机械特性 |
|
|
|
|
|
|
|
刚度 |
0.2 |
0.2 |
0.2 Z：0.35 |
0.2 Z：0.35 |
牛/微米 |
±20 % |
|
谐振频率，空载 |
X：345； Y：270 |
X：345； Y：270 |
X：365； Z：340 |
X：365； Z：340 |
赫兹 |
±20 % |
|
带30 克负载时的谐振频率 |
X：270； Y：225 |
X：270； Y：225 |
X：280； Z：295 |
X：280； Z：295 |
赫兹 |
±20 % |
|
带100 克负载时的谐振频率 |
X：180； Y：165 |
X：180； Y：165 |
X：185； Z：230 |
X：185； Z：230 |
赫兹 |
±20 % |
|
运动方向上的推/拉力 |
15 / 10 |
15 / 10 |
15 / 10 |
15 / 10 |
牛 |
最大 |
|
负载容量 |
15 |
15 |
15 |
15 |
牛 |
最大 |
|
驱动特性 |
|
|
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|
|
|
陶瓷类型 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
|
|
|
电容 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
微法 |
±20 % |
|
其他 |
|
|
|
|
|
|
|
工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
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|
材料 |
铝、钢 |
铝、钢 |
铝、钢 |
铝、钢 |
|
|
|
尺寸 |
44 毫米 × 44 毫米 × 25 毫米 |
44 毫米 × 44 毫米 × 25 毫米 |
44 毫米 × 44 毫米 × 34 毫米 |
44 毫米 × 44 毫米 × 34 毫米 |
|
|
|
质量 |
0.235 |
0.235 |
0.27 |
0.27 |
千克 |
±5 % |
|
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
米 |
±10 毫米 |
|
传感器连接 |
LEMO |
– |
LEMO |
– |
|
|
|
电压连接 |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
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推荐电控 |
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 |
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 |
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 |
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 |
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