PI普爱 H-811.I2V 真空六足位移台
PI普爱 H-811.I2V 真空六足位移台
紧凑且高精度
真空至10-6 hPa
行程范围 ±17 mm / ±16 mm / ±6.5
旋转范围 ±10° / ±10° / ±21°
最小增量运动 0.2 µm / 0.2µm / 0.08 µm
重复性至 ±0.06 µm
载荷 5 kg
产品描述
应用领域
由于占地面积小，H-811的真空变体非常适合安装在真空室中。高精度使得H-811.I2V能够极其精确和高效地执行对齐过程。在这些领域，它对提高复杂制造过程和程序的生产力做出了重大贡献。
高动态与极端可靠性相结合
平行连杆机构使六足机器人能够在极其紧凑的设计中进行6个的运动。由于采用了无刷直流电机和刚性机械设计，H-811即使在出现外部干扰（例如在粘接过程中）的情况下，也能主动对齐应用所需的动态。广泛的软件工具通过简化系统调整和为对齐提供外部模拟控制信号的自动例行程序来提供支持。
模拟以保护整个系统
PIVirtualMove软件可以免费下载，它模拟了H-811的行程范围、对齐以及允许的扭矩，以实现最佳系统配置。在这种情况下，考虑了选择的旋转中心和负载的重心。
工作坐标系和工具坐标系以及仿真工具包含属于六足机器人控制器交付范围的免费软件包中。提供的工具有助于保护关键部件，如光学或光子部件.
规格
| Motion | H-811.I2V | Tolerance |
|---|---|---|
| Active axes | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
| Travel range in X | ± 17 mm | |
| Travel range in Y | ± 16 mm | |
| Travel range in Z | ± 6.5 mm | |
| Rotation range in θX | ± 10 ° | |
| Rotation range in θY | ± 10 ° | |
| Rotation range in θZ | ± 21 ° | |
| Maximum velocity in X | 10 mm/s | |
| Recommended velocity in X | 5 mm/s | |
| Maximum velocity in Y | 10 mm/s | |
| Recommended velocity in Y | 5 mm/s | |
| Maximum velocity in Z | 10 mm/s | |
| Recommended velocity in Z | 5 mm/s | |
| Maximum angular velocity in θX | 250 mrad/s | |
| Recommended angular velocity in θX | 120 mrad/s | |
| Maximum angular velocity in θY | 250 mrad/s | |
| Recommended angular velocity in θY | 120 mrad/s | |
| Maximum angular velocity in θZ | 250 mrad/s | |
| Recommended angular velocity in θZ | 120 mrad/s | |
| Positioning | H-811.I2V | Tolerance |
| Minimum incremental motion in X | 0.2 µm | typ. |
| Minimum incremental motion in Y | 0.2 µm | typ. |
| Minimum incremental motion in Z | 0.08 µm | typ. |
| Minimum incremental motion in θX | 2.5 µrad | typ. |
| Minimum incremental motion in θY | 2.5 µrad | typ. |
| Minimum incremental motion in θZ | 5 µrad | typ. |
| Unidirectional repeatability in X | ± 0.15 µm | typ. |
| Unidirectional repeatability in Y | ± 0.15 µm | typ. |
| Unidirectional repeatability in Z | ± 0.06 µm | typ. |
| Unidirectional repeatability in θX | ± 2 µrad | typ. |
| Unidirectional repeatability in θY | ± 2 µrad | typ. |
| Unidirectional repeatability in θZ | ± 3 µrad | typ. |
| Backlash in X | 0.2 µm | typ. |
| Backlash in Y | 0.2 µm | typ. |
| Backlash in Z | 0.06 µm | typ. |
| Backlash in θX | 2 µrad | typ. |
| Backlash in θY | 2 µrad | typ. |
| Backlash in θZ | 4 µrad | typ. |
| Drive Properties | H-811.I2V | Tolerance |
| Drive type | Brushless DC motor | |
| Mechanical Properties | H-811.I2V | Tolerance |
| Stiffness in X | 0.7 N/µm | |
| Stiffness in Y | 0.7 N/µm | |
| Stiffness in Z | 8 N/µm | |
| Maximum load capacity, base plate in any orientation | 2.5 kg | |
| Maximum load capacity, base plate horizontal | 5 kg | |
| Maximum holding force, base plate in any orientation | 2.5 N | |
| Maximum holding force, base plate horizontal | 15 N | |
| Overall mass | 2.2 kg | |
| Material |
Stainless steel, aluminum |
|
| Miscellaneous | H-811.I2V | Tolerance |
| Operating temperature range | 0 to 50 °C | |
| Vacuum class | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
| Maximum bakeout temperature | 80 °C | |
| Connector for data transmission | HD D-sub 78 (m) | |
| Connector for supply voltage | LEMO | |
| Cable length | 2 m | |
| Outer diameter power supply cable | 4.7 mm | |
| Minimum bending radius for fixed installation, power supply | 50 mm | |
| Outer diameter data transmission cable | 6.6 mm | |
| Minimum bending radius for fixed installation, data transmission | 70 mm | |
| Recommended controllers/drivers |
C-887.5x |
固定在H-811.I2V上的电缆不兼容拖链。
关于外径数据传输电缆说明：数据传输连接由2根电缆组成，这些电缆在1个连接器中结束。规定的直径适用于每根电缆。
空气侧连接不包括在交付范围内，必须单独订购。
在真空中连续运行时，热量的产生可能需要限制操作参数。
在测量规格时，使用典型速度。数据以测量报告的形式包含在产品的交付中，并存储在PI中。
各个坐标（X，Y，，θX，θY，θZ）的最大行程范围是相互依赖的。每个轴的数据显示其最大行程范围，当所有其他轴处于名义范围的零位置，并且使用默认坐标系时，或者当枢轴点设置为0,0,0时。
在PI处，技术数据在2 ±3°C时指定。除非另有说明，否则这些值适用于无负载条件。某些属性是相互依赖的。标识符“typ.”表示某个属性的统计平均值；它不表示每个供应产品的保证值。在产品的最终检查中，只有选定的属性被分析，而不是全部。请注意，某些产品特性可能会随着操作时间的增加而恶化。
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