Panasonic松下 HD-T1 LED型晶圆校准传感器
Panasonic松下 HD-T1 LED型晶圆校准传感器 使用安全的LED光确保分辨率30μm下的高精度检测 特点 无需任何安全措施 使用安全的红色LED作为光源，无需任何繁杂的安全措施。无需使用激光时必备的保护罩，在美国使用时不需要符合FDA标准。 施工简便 使用ONE SHOT连接器将检测头与控制器连接。配线工时降至最低限度，维护轻松。 低消耗电流70mA以下 检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。实现光电传感器同等的低功耗。 高分辨率30μm 虽然使用红色LED作为光源，但仍然具有激光传感器同样的高性能，因此可实现高精度检测。 无需光轴调整 投、受光部一体型，无需繁琐的光轴调整。并且，检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域，可对应各种不同尺寸的晶圆。 配备系数和偏移量调整功能 模拟输出(1～5V)除了系数调整功能之外，还具备方便的偏移调整功能，可在±0.5V的范围内转换模拟电压。 用途 检测晶圆的偏心、凹陷 种类 检测头 形状 检测距离 检测宽度 型号 30mm(固定)(注1) 30mm HD-T1030 (注1)： 出厂时固定于安装基...
分类：
货号：
HD-T1
描述
Panasonic松下 HD-T1 LED型晶圆校准传感器
使用安全的LED光确保分辨率30μm下的高精度检测
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特点
无需任何安全措施
使用安全的红色LED作为光源，无需任何繁杂的安全措施。无需使用激光时必备的保护罩，在美国使用时不需要符合FDA标准。
施工简便
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使用ONE SHOT连接器将检测头与控制器连接。配线工时降至最低限度，维护轻松。 |
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低消耗电流70mA以下
检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。实现光电传感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
虽然使用红色LED作为光源，但仍然具有激光传感器同样的高性能，因此可实现高精度检测。
无需光轴调整
投、受光部一体型，无需繁琐的光轴调整。并且，检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域，可对应各种不同尺寸的晶圆。
配备系数和偏移量调整功能
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模拟输出(1～5V)除了系数调整功能之外，还具备方便的偏移调整功能，可在±0.5V的范围内转换模拟电压。 |
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用途
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种类
检测头
| 形状 | 检测距离 | 检测宽度 | 型号 |
|---|---|---|---|
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30mm(固定) (注1) |
30mm | HD-T1030 |
| (注1)： | 出厂时固定于安装基座状态下的值。 |
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控制器
检测头与控制器必须配套使用。
| 形状 | 型号 | 输出 |
|---|---|---|
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HD-T1C | 模拟电压 ・输出电压：1～5V |
规格
检测头
| 型号 | HD-T1030 | |
| 适用控制器 | HD-T1C | |
| 检测宽度 | 30mm(直线性按照28mm的宽度规定) | |
| 检测距离 | 30mm(固定)(注2) | |
| 环 境 性 能 |
保护构造 | IP40(IEC) |
| 使用环境温度 | 0～+40℃(注意不可结露)，存储时：-20～+55℃ | |
| 使用环境湿度 | 35～85%RH、存储时：35～85%RH | |
| 使用环境照明度 | 白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度3,000lx以下 | |
| 耐电压 | AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 | |
| 绝缘电阻 | 所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 | |
| 耐振动 | 频率10～150Hz 双振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小时 | |
| 耐冲击 | 加速度490m/s2(约50G) X,Y和Z方向各3次 | |
| 投光元件 | 红色LED(投光波峰波长：650nm) | |
| 受光元件 | 光电二极管 | |
| 材质 | 本体外壳：PEI、前罩部：玻璃、安装基座：铝 | |
| 电缆 | 耐热PVC电缆0.5m末端带连接器 | |
| 重量 | 本体重量：约150g | |
(注1)： 无指定的测量条件为使用环境温度+20℃。
(注2)： 出厂时固定于安装基座状态下的值。
控制器
| 型号 | HD-T1C | |
| 适用检测头 | HD-T1030 | |
| 电源电压 | 24V DC±10% 脉动P-P10%以下 | |
| 消耗电流 | 70mA以下(含检测头) | |
| 模拟输出 | 模拟电压 ・输出电压：1±0.5V(全遮光时)～5±0.5V(全入光时) ・输出阻抗：75Ω |
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| 反应时间 | 0.5ms以下(8V/ms以上) | |
| 分辨率 | 30μm(注2) | |
| 直线性 | ±1.0%F.S.(检测位置中心的检测宽度28mm)(注3) | |
| 温度特性 | ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3) | |
| 量程调整功能 | 装备15圈无限制调节器，可调整模拟输出电压的量程 | |
| 转移调整功能 | 装备15圈无限制调节器，可调整模拟输出电压的偏置 | |
| 预热时间 | 30分以上 | |
| 环 境 性 能 |
保护构造 | IP40(IEC) |
| 使用环境温度 | 0～＋40℃(注意不可结露)，存储时：－20～＋70℃ | |
| 使用环境湿度 | 35～85％RH，存储时：35～85％RH | |
| 耐电压 | AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 | |
| 绝缘电阻 | 所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 | |
| 耐振动 | 频率10～150Hz 双振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小时 | |
| 耐冲击 | 频率490m/s2(约50G) X,Y和Z方向各3次 | |
| 材质 | 本体外壳：耐热ABS，连接器外罩部：耐热ABS，调节器外罩部：聚碳酸酯 | |
| 电缆 | 0.22mm2 3芯耐热PVC电缆，长0.3m | |
| 电缆延长 | 0.3mm2以上的电缆全长可延长至3m | |
| 重量 | 本体重量：约85g | |
(注1)： 无指定的测量条件为使用环境温度+20℃。
(注2)： 分辨率为模拟输出的峰值～峰值距离换算值(20MHz以下带域)。
(注3)： 检测头和控制器组合后测定时的代表示例。
尺寸图
- 单位mm
HD-T1030
检测头
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HD-T1C
控制器
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回路・连接
输入・输出电路图(控制器)
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| 符号・・・ | D:电源逆接保护用二极管 ZD:电涌电压吸收用齐纳二极管 |
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端子排列图(控制器)
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| 端子No. | 内容 | |
|---|---|---|
| 1 | +V | 投光器侧 |
| 2 | 0V | |
| 3 | 投光脉冲 | |
| 4 | 屏蔽 | |
| 5 | 屏蔽 | 受光器侧 |
| 6 | 受光信号 | |
| 7 | 0V | |
| 8 | +V | |
使用注意事项
- 请勿将本产品作为保障人身安全的检测装置使用。
- 欲进行以保障人身安全为目的的检测，请使用符合OSHA、ANSI以及IEC等各国有关人身安全保障的法律和标准的产品。
| ・ | 检测头与控制器必须配套使用。 |
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安装
检测头
- 安装检测头时，如下图所示，使用2个M4内六角螺栓(请另行准备)，以0.5N·m以下的扭矩紧固。
- 请勿拆下固定投、受光器和安装基座的固定螺丝。否则，输出值会变化。
- 请勿使用投、受光器侧面的安装孔以螺丝安装。
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控制器
<使用DIN导轨时>
| (1) | 按箭头方向推入挡块(锁定)后，将安装部前部嵌入35mm宽的DIN导轨中。 |
|---|---|
| (2) | 将安装部后部压住35mm宽的DIN导轨并嵌入其中。 |
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<使用螺丝时>
- 使用螺丝进行安装时，请使用M4盘头螺丝，并将紧固扭矩设为1.2N·m以下。
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配线
- 控制器的模拟输出未装备短路保护电路。请勿直接连接电源或容性负载。
- 配线时请注意不要对连接器施加静电。否则会导致故障。
- 配线错误会导致故障。
- 控制器的电缆延长时，可通过截面积为0.3mm2以上的电缆将全长延长至3m。
检测头电缆的长度不能变更。 - 请勿对电缆引出部施加强行弯曲或拉曳等应力。否则会导致断线。
- 直流电源请务必使用绝缘变压器。使用自动变压器(自耦变压器)时，有时会损坏本体和电源。
- 使用电源发生电涌时，请将发生源与电涌吸收器连接，以吸收电涌。
其它
- 本产品为在工业环境下使用所开发、生产的产品。
- 请勿在室外使用。
- 使用时，请避开电源接通时的过渡状态(0.5s)。
- 本产品输出LED光的受光量。检测宽度中心部分和周围部分的光强度不同，因此，不能保证尺寸精度，敬请注意。
- 水、油、指纹等会使光线折射、灰尘和垃圾等会阻断光线。请避免让检测头的投、受光面粘附这些物质。如有附着，请用干净的软布或擦镜头纸等擦拭干净。
- 测定物体为镜面体或透明体时，可能无法正确测定，敬请注意。
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