Sintec新特 F-Theta场镜
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Sintec新特 F-Theta场镜
F-Theta场镜是一种平场扫描透镜,采用高透过率的光学玻璃作为基材,由透镜组以特定的设计方案集成于机械外壳中组成。其聚焦光束的高度为f×θ(θ为入射光束的入射角),因此输入光束和输出光束的角速度直接成正比,使扫描反射镜能够以恒定的角速度运转,常用于提高边缘光束入射到探测器的能力、使探测器光敏面上的非均匀光得以均匀化、补偿系统的场曲与畸变等。F-Theta场镜在使用时能够提供平场像平面,同时能极大简化控制电路,具有高透过率、大扫描范围、低像差和低F-Theta畸变的特点,在中低激光功率的微加工方面,如标刻机、雕刻机、激光打印机、传真机、印刷机以及制作半导体集成电路的激光图形发生器和激光扫描精密设备中,有较大发展潜力。F-Theta场镜是一种平场扫描透镜,采用高透过率的光学玻璃作为基材,由透镜组以特定的设计方案集成于机械外壳中组成。其聚焦光束的高度为f×θ(θ为入射光束的入射角),因此输入光束和输出光束的角速度直接成正比,使扫描反射镜能够以恒定的角速度运转,常用于提高边缘光束入射到探测器的能力、使探测器光敏面上的非均匀光得以均匀化、补偿系统的场曲与畸变等。F-Theta场镜在使用时能够提供平场像平面,同时能极大简化控制电路,具有高透过率、大扫描范围、低像差和低F-Theta畸变的特点,在中低激光功率的微加工方面,如标刻机、雕刻机、激光打印机、传真机、印刷机以及制作半导体集成电路的激光图形发生器和激光扫描精密设备中,有较大发展潜力。
产品特点
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适用于高精度材料加工和扫描应用
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平场像平面,大扫描范围
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空气隙设计,低像差设计
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低F-Theta畸变
标准产品型号
产品型号 | 设计波长/nm | 入射孔径/mm | 焦距/mm | 扫描场/mm | 材质 |
SLB-FT-532-16-330-347 | 532 | Ø16 | 330 | 245X245 | 光学玻璃 |
SLB-FT-1064-15-347-355 | 1064 | Ø15 | 347 | 253.4X253.4 | 光学玻璃 |
SLB-HPFT-532-14-330-230 | 532 | Ø14 | 330 | 110x110 | 光学玻璃 |
SLB-FT-1064-12-160-160 | 1064 | Ø12 | 160 | 160x160 | 熔融石英 |
以SLB-FT-532-16-330-347为例,聚焦光斑尺寸分布图(左)和场曲分布图(右)
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