Sintec新特 SLB-MLGS25 分束DOE
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Sintec新特 SLB-MLGS25 分束DOE
分束DOE常由基于像素点的周期性相位设计或光栅级联两种方案的单独作用或结合使用，实现一维或二 维、奇数或偶数分束效果。我们提供的分束DOE分为级联光栅分束器和液晶分束器，其中级联光栅分束器（Multilayer Grating Beam Splitter，MLGS）采用N-BK7玻璃基底和液晶聚合物（Liquid Crystal Polymers，LCP）材料制成，由三层1英寸双切边衬底涂敷具备光栅和波片结构的LCP层组成，为单波长器件。当入射光为线偏振光时，根据各级光栅栅线的相对位置关系为平行或垂直，级联光栅分束器能够实现一维或二维的四分束功能，且得到的各束光为旋向不同的圆偏振光，其分束角与各级光栅周期相关。级联光栅具有较高的透过率，通过更优的相位设计和精确的延迟量控制，使其具有比典型达曼光栅分束器更高的分束效率和分束均匀性，且能保证较高的分束角精度。我们的液晶分束（Liquid Crystal Beam Splitter，LCBS）DOE采用N-BK7玻璃基底和液晶聚合物（Liquid Crystal Polymers，LCP）材料制成，呈现为典型的三明治平片结构，为单波长器件。液晶分束DOE的相位结构根据预期的分束模式、分束光斑间隔或光束分离角度等需求，基于衍射光学原理进行设计，通过对相应衍射级次的能量进行分配来实现预期分束效果。与级联光栅分束器相比，分束DOE对入射光偏振态无要求，且可实现奇数分束；与达曼光栅分束器相比，分束DOE衍射效率及分束光斑均匀性更优；与传统刻蚀DOE相比，液晶分束DOE更易实现多阶数相位变化，从而达到更高的衍射效率，工艺难度也明显降低。因此，基于液晶分束DOE高衍射效率、高分束均匀性、高分离角精度、低无效衍射级次噪声影响、工艺简单等优点，其可用于并行激光加工、光传感探测、光医疗美容等众多应用方向中，以提升加工效率和一致性。
我们提供的标准分束DOE工作波长λ为532nm和1064nm，其中级联光栅分束器分束模式为1×4和2×2可选，液晶分束DOE分束模式有1×3、1×9和2×3可选，除现有标准产品外，另提供各项参数规格的灵活定制，以方便用户在不同应用场景下的多样化需求。
1×4、2×2级联光栅分束器中一级、二级光栅在线偏振光下形貌 （左）和1×3、1×9、2×3二维液晶分束DOE相位图（右）
产品特点
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平板结构，体积小，易集成
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透射式元件，能量利用率高
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连续型相位，衍射效率高，分束均匀性好
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定制灵活，分束角精度高，分束角可调
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适用于多种类型光源的分束
标准产品型号
| 产品型号 | 分束模式 | 工作波长/nm | 通光孔径/mm | 分束角/° |
| SLB-MLGS25-1402-532 | 1x4 | 532 | Ø20 | 2 |
| SLB-MLGS25-1404-1064 | 1x4 | 1064 | Ø20 | 4 |
| SLB-MLGS25-2202-532 | 2x2 | 532 | Ø20 | 2 |
| SLB-MLGS25-2204-1064 | 2x2 | 1064 | Ø20 | 4 |
| SLB-LCBS25-532-0109-000015 | 1×3 | 532 | Ø21.5 | 0.5 |
| SLB-LCBS25-532-0109-000015 | 1x9 | 532 | Ø21.5 | 0.15 |
| SLB-LCBS25-1064-0103-000100 | 1×3 | 1064 | Ø21.5 | 1 |
| SLB-LCBS25-1064-0109-000030 | 1x9 | 1064 | Ø21.5 | 0.3 |
| SLB-LCBS25-532-0203-025015 | 2x3 | 532 | Ø21.5 | 0.25×0.15 |
| SLB-LCBS25-1064-0203-050030 | 2x3 | 1064 | Ø21.5 | 0.5×0.3 |
性能参数
| 产品类型 | 标准产品 | 定制 |
| 工作波长 | 532 nm，1064 nm | 400-1700 nm |
| 元件尺寸及安装方式 | Ø25.4x2.7 mm，无切边/双侧切边 兼容1英寸光学元件安装架 | |
| 入射光斑质量要求 | 无 | |
| 入射光斑偏振态要求 | 依据产品具体实现方案确定 | |
| 入射光斑尺寸 | ＜通光孔径的一半（建议） | |
| 通光孔径 | Ø20 mm，Ø21.5 mm | |
| 分束模式 | 详见上表 | 1xm，mxn |
| 分束均匀性 | > 90% | >90%，最大可做到>97% |
| 分束角 | 详见上表 | 随搭配聚焦透镜可调 |
| 透过率 | > 96% | >85 %@400-450nm， >96 %@450-1700 nm |
| 反射率 | Ravg <0.5% (0°入射角) | |
| 衍射效率 | >97% |
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分束均匀性：对于分束得到的各光斑能量，均匀性定义为（1-极差/极和）×100 %
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衍射效率：分束得到的有效级次能量占所有出射光能量之比
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分束角：对于不同的分束方案有不同的定义
性能曲线
分束DOE应用光路搭设示例
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