EXCELITAS 埃塞力达 mag.x 125宽场显微镜系统
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EXCELITAS 埃塞力达 mag.x 125宽场显微镜系统
mag.x system 125是一种新型的光学系统，源自我们的Qioptiq®技术积累，具备卓越的光学性能，可实现类似显微镜的分辨率和宽视场，支持直径高达57mm的现代高分辨率传感器。完全模块化的可变系统非常适合在检验和测量应用中进行亚微米成像。模块化方法使系统能够适应多种应用场合，从无照明的直镜光学系统到包括同轴照明和闭环自动对焦的全功能系统，均可适用。
宽视场高分辨率成像
mag.x system 125采用可集成的自动对焦模块，可在自动化工业环境中完成最严格的检验需求。各种验查应用均可从“闭环”自动对焦解决方案中受益，延长周期时间，从而提高吞吐量。
高分辨率检验已在很多应用中使用。每种应用都有各自的要求和约束。为了满足所有这些千差万别的需求，mag.x system 125采用模块化设计。定制式元素易于集成，并使系统能够无缝集成到周围设备中。mag.x 125系统可与我们的一系列物镜、镜筒透镜、照明灯管、自动对焦模块、安装板和其他配件组合使用，以满足您的应用需求。 详情请访问我们的 Qioptiq-Shop。
我们的质量标准：
- 采用创新光学设计的精密工程
- 物体和图像侧的确切远心度
- 衍射限制了整个成像圈的光学性能
- 精确动态自动对焦
理想应用：
半导体、平板显示器（TFT和OLED）和印刷电路板（PCB）的检验和加工，微观测量与计量，MEMS与纳米技术，荧光显微镜，数字病理学等。
|
物镜消色镜 |
镜筒透镜系统 |
|||||||||||||||
|
1x |
1.73x |
2.25x |
||||||||||||||
|
f'tub = 250 mm |
f'tub = 432.5 mm |
f'tub = 563 mm |
||||||||||||||
|
2y' = 25 mm |
2y' = 43.3 mm |
2y' = 57 mm |
||||||||||||||
|
WD |
f'obj |
δ |
R0 |
M |
2y 毫米 |
NA' |
R'0 lp/mm |
M |
2y 毫米 |
NA' |
R'0 lp/mm |
M |
2y 毫米 |
NA' |
R'0 lp/mm |
|
|
Magn./NA |
毫米 |
毫米 |
µm |
lp/mm |
||||||||||||
|
2x/0.08 |
24.8 |
125 |
± 42.7 |
293 |
2.0 |
12.5 |
0.04 |
147 |
3.5 |
12.5 |
0.023 |
85 |
4.5 |
12.5 |
0.018 |
65 |
|
5x/0.2 |
13.0 |
50 |
± 6.8 |
733 |
5.0 |
5.0 |
0.04 |
147 |
8.7 |
5.0 |
0.023 |
85 |
11.25 |
5.0 |
0.018 |
65 |
NA 物体空间中的数值孔径 = n · sin (σ)
WD 工作距离
f'obj 物镜的焦距
f'tub 镜筒透镜的焦距
δobj 在546 nm处景深 δobj = ±n · λ/(2 · NA2)
R'0 在546 nm处图像空间中的截止频率
R0 在546 nm处物镜空间中的截止频率；R0 = (2 · NA) / λ
2y' 像场大小（最大检测器对角线）
2y 物场大小
M 整个系统放大倍数；M = Mobj · Mtub
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